[实用新型]高精度二维运动台

权利要求书

1.高精度二维运动台，其特征在于，包括：

底轴基座；

底轴负载板，其两端分别通过一个第一交叉滚柱导轨滑动设于所述底轴基座的顶部，任一第一交叉滚柱导轨包括固设于所述底轴基座上的第一固定导轨，以及固设于所述底轴负载板上的第一滑动导轨；任一第一滑动导轨和与其相对应的第一固定导轨相互平行且彼此滑动连接，第一滑动导轨的长度小于第一固定导轨的长度；

上轴负载板，其滑动设于所述底轴负载板上，所述上轴负载板相对所述底轴负载板的滑动方向与第一固定导轨垂直。

2.如权利要求1所述的高精度二维运动台，其特征在于，还包括：上轴基座，其设于所述底轴负载板与所述上轴负载板之间，所述上轴基座与所述底轴负载板的顶部固接，与所述上轴负载板的底部滑动连接。

3.如权利要求2所述的高精度二维运动台，其特征在于，任一第一滑动导轨的长度和所述底轴负载板与第一固定导轨长度方向平行的侧边长度、所述上轴基座与第一固定导轨长度方向平行的侧边长度均相等。

4.如权利要求2所述的高精度二维运动台，其特征在于，所述上轴负载板的两侧分别通过一个第二交叉滚柱导轨与所述上轴基座滑动连接，任一第二交叉滚柱导轨包括固设于所述上轴基座上的第二固定导轨，以及与所述上轴负载板固接的第二滑动导轨；任一第二固定导轨与第一固定导轨垂直；任一第二滑动导轨和与其相对应的第二固定导轨相互平行且彼此滑动连接，第二滑动导轨的长度与第二固定导轨的长度相等。

5.如权利要求2所述的高精度二维运动台，其特征在于，还包括：

第一直线电机，其包括固设于所述底轴负载板上的第一电机动子以及固设于所述底轴基座上的第一电机定子；

第二直线电机，其包括固设于所述上轴负载板上的第二电机定子以及固设于所述上轴基座上的第二电机动子。

6.如权利要求4所述的高精度二维运动台，其特征在于，还包括：

第一光栅尺，其固设于所述底轴基座上且与第一固定导轨平行设置；

第一光栅读数头，其通过第一读数头安装座固设于所述底轴负载板上，所述第一光栅读数头与所述第一光栅尺匹配设置；

第二光栅尺，其固设于所述上轴负载板上且与第二固定导轨平行设置；

第二光栅读数头，其通过第二读数头安装座固设于所述上轴基座上，所述第二光栅读数头与所述第二光栅尺匹配设置。

7.如权利要求1所述的高精度二维运动台，其特征在于，还包括：两个第一限位缓冲器，其分别对称固设于所述底轴基座的两端，且分别位于所述底轴负载板的两侧，任一第一限位缓冲器上设有第一弹性缓冲头，两个第一弹性缓冲头沿第一固定导轨长度方向相对设置。

8.如权利要求4所述的高精度二维运动台，其特征在于，还包括：

两个第二限位缓冲器，其分别对称固设于所述上轴负载板的底部的两端上；任一第二限位缓冲器上设有一个第二弹性缓冲头；

两个防撞块，其均固设于所述上轴基座上，且均位于两个第二限位缓冲器之间，任一第二弹性缓冲头和其相邻的防撞块沿第二固定导轨的长度方向相对设置。

9.如权利要求1所述的高精度二维运动台，其特征在于，还包括：排线，其一端通过第一安装板与所述底轴基座固定连接，另一端通过第二安装板与所述底轴负载板固定连接；所述排线为过余设置，且不限制所述底轴负载板相对所述底轴基座的移动。