[实用新型]一种陶瓷基体材料上涂覆金刚石薄膜的前处理装置

权利要求书

1.一种陶瓷基体材料上涂覆金刚石薄膜的前处理装置，包括装置外壳(1)，其特征在于：所述装置外壳(1)内部的中间设置有加热反应空腔(2)，所述加热反应空腔(2)内部的上端设置有固定环(7)，所述固定环(7)的外部设置有导电线圈(28)，所述加热反应空腔(2)内部的下端设置有支撑底板(8)，所述支撑底板(8)的下端横向均匀分布有三个喷火口(9)，所述装置外壳(1)的上端设置有氩气瓶(5)，所述加热反应空腔(2)的一侧设置有密封盖(29)。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷基体材料上涂覆金刚石薄膜的前处理装置，其特征在于：所述密封盖(29)与装置外壳(1)之间通过第二转动轴(30)转动连接，所述密封盖(29)与氩气瓶(5)之间设置有输气管(6)，且输气管(6)与氩气瓶(5)和密封盖(29)均密封连接。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷基体材料上涂覆金刚石薄膜的前处理装置，其特征在于：所述喷火口(9)下端的一侧设置有点火装置(10)，所述点火装置(10)的一侧设置有储油腔(11)。

4.根据权利要求1所述的一种陶瓷基体材料上涂覆金刚石薄膜的前处理装置，其特征在于：所述加热反应空腔(2)的一侧设置有清洗浸泡腔(3)，所述清洗浸泡腔(3)内部一侧的下端设置有第二储水腔(14)，所述清洗浸泡腔(3)内部另一侧的下端设置有第三储水腔(15)，所述清洗浸泡腔(3)一侧的上端设置有第一储水腔(12)，所述第一储水腔(12)的下端设置有出水口(13)。

5.根据权利要求4所述的一种陶瓷基体材料上涂覆金刚石薄膜的前处理装置，其特征在于：所述第三储水腔(15)的一侧设置有第三滑轨(32)，所述第三滑轨(32)的外部设置有固定板(31)，且固定板(31)与第三滑轨(32)滑动连接。

6.根据权利要求4所述的一种陶瓷基体材料上涂覆金刚石薄膜的前处理装置，其特征在于：所述清洗浸泡腔(3)的一侧设置有第一伸缩装置(18)，所述第一伸缩装置(18)的外部设置有第一滑轨(20)，且第一滑轨(20)与第一伸缩装置(18)滑动连接，所述加热反应空腔(2)的一侧设置有真空压力室(4)，所述真空压力室(4)的一侧设置有第二伸缩装置(23)，所述第二伸缩装置(23)的外部设置有第二滑轨(24)，且第二滑轨(24)与第二伸缩装置(23)滑动连接，所述第一伸缩装置(18)和第二伸缩装置(23)的一端均设置有第一夹板(19)。

7.根据权利要求6所述的一种陶瓷基体材料上涂覆金刚石薄膜的前处理装置，其特征在于：所述第一夹板(19)的一侧设置有第二夹板(25)，且第二夹板(25)与第一夹板(19)之间通过第一转动轴(26)转动连接，所述第二夹板(25)和第一夹板(19)的一侧均设置有耐高温垫(27)。