[实用新型]单晶炉连续加料智能控制系统有效
| 申请号: | 202122265657.9 | 申请日: | 2021-09-16 |
| 公开(公告)号: | CN216473575U | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
| 发明(设计)人: | 郭晓琛;乔帅帅;李远田;燕靖;边丽媛;关春洋;吴亚娟 | 申请(专利权)人: | 徐州美芯半导体材料科技有限公司;江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/28 | 分类号: | C30B15/28;C30B29/06 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 单晶炉 连续 加料 智能 控制系统 | ||
1.一种单晶炉连续加料智能控制系统,包括第一称重器(2)、加料装置,其特征在于,还包括计时器和控制器,控制器内部预先设定有重量值G和时间间隔T;加料装置、控制器以及计时器安装在单晶炉外部;
其中,第一称重器(2)一端通过提拉绳(1-1)与晶棒(3)相连,另一端通过提拉绳(1-1)与旋转提拉机构(1)相连,加料装置包括料仓(14),料仓(14)底部连通有出料管(16),出料管(16)上连接有出料阀(9),出料管(16)下部出料口连接称重传输装置(8)的入口,称重传输装置(8)内部安装有皮带传输装置(6),皮带传输装置(6)下部安装有第二称重器(7),称重传输装置(8)出口连接有加料管(5),加料管(5)出口端设置在单晶炉内的坩埚(4)上部开口处,称重传输装置(8)的宽度与皮带传输装置(6)的宽度相等,称重传输装置(8)出口处直径、加料管(5)入口处直径均与皮带传输装置(6)的宽度相等;第一称重器(2)、第二称重器(7)、皮带传输装置(6)、出料阀(9)以及计时器分别通过控制电路与控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉连续加料智能控制系统,其特征在于,料仓(14)顶部连接有补料管(12),补料管(12)上连接有补料阀(11),补料阀(11)通过控制电路与控制器电连接;料仓(14)内顶部两侧分别安装有第一距离传感器(10)和第二距离传感器(13),第一距离传感器(10)和第二距离传感器(13)通过控制电路与控制器电连接,控制器内部还预先设定有距离值L1、L2。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉连续加料智能控制系统,其特征在于,料仓(14)还连接有抽真空装置(17),料仓(14)内部安装有气压传感器(14-1),抽真空装置(17)、气压传感器(14-1)分别与控制器电连接,控制器内部还预先设定有气压值P。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉连续加料智能控制系统,其特征在于,加料管(5)的出口与晶棒(3)之间设置有挡板(18),挡板(18)安装在加料管(5)的出口处。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉连续加料智能控制系统,其特征在于,加料管(5)从入口处至出口处,其直径逐渐缩小至设定直径。
6.根据权利要求4所述的一种单晶炉连续加料智能控制系统,其特征在于,加料管(5)内壁为粗糙表面。
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