[实用新型]旋转清理器及废气处理装置有效

专利信息
申请号: 202122251294.3 申请日: 2021-09-16
公开(公告)号: CN215963505U 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 王毅;陈振魁;许斌武;孟祥鹏;康达 申请(专利权)人: 河北普兴电子科技股份有限公司
主分类号: B01J19/00 分类号: B01J19/00
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 魏笑
地址: 050200 河北省石*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 旋转 清理 废气 处理 装置
【说明书】:

实用新型提供了一种旋转清理器及废气处理装置,所述旋转清理器包括连接座、转轴、至少两个密封件、刮清件,连接座上设有贯穿的内孔;转轴穿设于内孔中、且与连接座转动连接,转轴的两端均伸出连接座,转轴的直径小于连接座的内孔的直径;密封件分别从内孔的两端密封内孔,密封件间形成密封腔,密封腔内设置密封液,密封液用于防止空气从转轴与连接座间流过;刮清件与转轴的一端相连。所述废气处理装置安装上述旋转清理器。本实用新型提供的旋转清理器及废气处理装置形成液态密封,能够放置空气从转轴与连接座的间隙进入反应器,提高了安全性。

技术领域

本实用新型属于清理装置技术领域,具体涉及一种旋转清理器及废气处理装置。

背景技术

硅外延在生长过程中产生二氧化硅、未反应完全的磷、氢气等多种废气,这些废气若是直接排出,将会污染环境。因此产生的废气需要经过废气处理装置再进行排放。当废气进入废气处理装置后,废气中的物质发生放热化学反应,生产硅渣等残渣,这些残渣会粘黏在反应器的内壁上。

现有生产中为了清理这些残渣,在废气处理装置上安装清理装置,清理装置具有连接座与转轴,连接座与转轴转动连接,转轴具有绕自身旋转的自由度,转轴上设置刮清件,手动转动转轴使得刮清件旋转、刮落粘黏在反应器内壁上的残渣。但是转轴长期使用后,连接座与转轴间的转动间隙会随使用程度变大,空气会从转动间隙处进入反应器。流入反应器的空气与磷接触,受热容易着火,甚至爆炸,存在安全隐患。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种旋转清理器,旨在解决现有清理装置密封不严,空气流入反应器与磷接触,容易产生着火、甚至爆炸,存在安全隐患的问题。

为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:提供一种旋转清理器,包括连接座、转轴、至少两个密封件、刮清件,连接座上设有贯穿的内孔;转轴穿设于内孔中、且与连接座转动连接,转轴的两端均伸出连接座,转轴的直径小于连接座的内孔的直径;密封件分别从内孔的两端密封内孔,密封件间形成密封腔,密封腔内设置密封液,密封液用于防止空气从转轴与连接座间流过;刮清件与转轴的一端相连。

在一种可能的实现方式中,连接座的侧壁上设有进液孔,进液孔与密封腔相连通。

在一种可能的实现方式中,旋转清理器还包括液位管,液位管与进液孔相连。

在一种可能的实现方式中,密封件为弹簧密封圈,弹簧密封圈套设于转轴上,弹簧密封圈的外壁与内孔的孔壁密封接触。

在一种可能的实现方式中,旋转清理器还包括驱动结构,驱动结构包括单向轴承、套件、驱动件,单向轴承设于转轴背离刮清件的一端,单向轴承的内圈套设于转轴上,转轴随内圈转动;套件套设于单向轴承的外圈上,外圈随套件转动;驱动件与套件相连,驱动件用于驱动转轴转动。

在一种可能的实现方式中,套件上设有长条孔,驱动件为气缸,气缸的缸杆与套件转动连接,且缸杆与套件的转动连接点能够沿长条孔的长度方向滑动。

在一种可能的实现方式中,套件具有耳板,长条孔设于耳板上,气缸的缸杆端设有接头,接头具体上平板、下平板及用于将上平板与下平板相连的竖板,耳板插设于上平板与下平板间,上平板上设有连接轴,连接轴穿过长条孔与下平板相连。

在一种可能的实现方式中,套件的两端均设有端盖,端盖用于对单向轴承进行限位固定。

在一种可能的实现方式中,连接座的上端设有固定座,连接座上设有贯穿孔,转轴与套件连接的一端穿过贯穿孔,气缸设于固定座上。

提供一种废气处理装置,包括反应器和上述的旋转清理器,连接座与反应器相连,旋转清理器的刮清件伸入反应器内。

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