[实用新型]集成高温湿度和二氧化碳浓度的检测传感器

权利要求书

1.一种集成高温湿度和二氧化碳浓度的检测传感器，其特征是，包括氧化锆层一（1）、氧化锆层二（2）、加热层（3）、电极（4）、气氛测量区（5）、印刷加热电路（6）、接线端（7），所述氧化锆层一（1）、氧化锆层二（2）、加热层（3）依次由上到下固定组成，氧化锆层一上设有电极（4），氧化锆层二（2）上设有数个气氛测量区（5），数个气氛测量区（5）串联连通在一起，加热层（3）内设有印刷加热电路（6）端头处设有接线端（7）。

2.根据权利要求1所述的集成高温湿度和二氧化碳浓度的检测传感器，其特征是，所述气氛测量区（5）由测量腔室（51）、扩散障碍层（52）、泵电极（53）组成，测量腔室（51），测量腔室（51）的内壁上设有扩散障碍层（52），测量腔室（51）的开口处设有泵电极（53）。

3.根据权利要求1所述的集成高温湿度和二氧化碳浓度的检测传感器，其特征是，所述加热层（3）上设有气孔。

4.根据权利要求1所述的集成高温湿度和二氧化碳浓度的检测传感器，其特征是，所述加热层（3）的材质为氧化铝或氧化锆。