[实用新型]一种籽晶托以及碳化硅单晶生长装置有效
| 申请号： | 202122231217.1 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN216473576U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 姚秋鹏;皮孝东;徐所成;王亚哲;陈鹏磊;程周鹏 | 申请（专利权）人： | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 姚宇吉 |
| 地址： | 310000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 以及 碳化硅 生长 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种籽晶托，设于坩埚口并与坩埚形成密封腔，所述籽晶托贴紧在所述坩埚口的底面上设有籽晶，其特征在于：所述籽晶托远离坩埚口的顶面上设有与籽晶对应的厚度变化面，所述厚度变化面与籽晶托底面之间的间距从中心向边缘逐渐增加。
2.根据权利要求1所述的一种籽晶托，其特征在于，所述籽晶托贴紧在所述坩埚口的底面上设有籽晶安装部，所述籽晶安装部为设置在所述籽晶托上的凹槽。
3.根据权利要求2所述的一种籽晶托，其特征在于，所述籽晶通过粘合剂粘合在所述凹槽内。
4.根据权利要求3所述的一种籽晶托，其特征在于，所述凹槽的深度小于所述籽晶的厚度。
5.根据权利要求1所述的一种籽晶托，其特征在于，所述籽晶托与所述坩埚之间设有密封圈。
6.根据权利要求1所述的一种籽晶托，其特征在于，所述籽晶托和坩埚均采用石墨制成。
7.根据权利要求1所述的一种籽晶托，其特征在于，所述籽晶托上设有把手。
8.一种碳化硅单晶生长装置，其特征在于，包括权利要求1至7任意一项所述的一种籽晶托。
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