[实用新型]一种真空镀膜机的冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机的冷却装置，属于真空镀膜机技术领域。一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体和将安装于真空腔体外部的外壳，所述外壳的下方开设有下连接管，所述外壳的上方开设有上连接管，所述真空腔体和外壳之间安装有换热组件和散热组件，所述外壳的一侧设有鼓气泵，所述外壳的另一侧设置有抽水泵。本实用新型利用散热组件将真空腔体内部的热量通过汽化的冷却水均匀散发到外壳中，使得真空腔体产生的热量可以均匀分布到体积较大的外壳中，同时通过换热组件，利用换热管道与水蒸气的接触将水蒸气的热量传输到第一连接管道中移动的冷却气体中，双管齐下，从而带走真空腔体产生的热量，提高对真空腔体的冷却效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，更具体地说，涉及一种真空镀膜机的冷却装置。

背景技术

真空镀膜机是一种集成化的设备，主要分为蒸发和溅射两大类在较高真空度下进行镀膜，由于真空镀膜机的工作模式，真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，因此需要使用冷却设备对腔体进行降温。

市场上常见的冷却设备通常是在镀膜的高温腔体外侧设置若干圈用于降温的水管，并在水管内部输送冷却水，通过流动的冷却水带走高温腔体外壁逸散出来的热量，但是这种方式对高温腔体的降温效果不佳，鉴于此，我们提出一种真空镀膜机的冷却装置。

实用新型内容

1.要解决的技术问题

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的冷却装置，以解决上述背景技术中提出现有冷却设备对高温腔体降温效果不佳的问题。

2.技术方案

一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体和将安装于真空腔体外部的外壳，所述外壳的下方开设有下连接管，所述外壳的上方开设有上连接管，所述真空腔体和外壳之间安装有换热组件和散热组件，所述外壳的一侧设有鼓气泵，所述外壳的另一侧设置有抽水泵。

优选地，所述上连接管的内部安装有用以抽气的抽气扇，所述下连接管的内部安装有用以鼓气的鼓气扇。

优选地，所述换热组件包括安装在外壳内部的若干换热管道，若干个所述换热管道平行且等距设置，若干个所述换热管道之间连接有第一连接诶管道，所述第一连接诶管道与若干个换热管道相通连接，所述换热管道的一侧相通连接有进气管道，所述换热管道的另一侧相通连接有出气管。

优选地，所述散热组件包括位于真空腔体外侧的若干个输水管道和若干个与真空腔体外侧壁固定连接的导热块，若干个所述输水管道之间相通连接有第二连接管道，所述导热块的中部位置处开设有开口槽，所述输水管道和抽水泵之间设置有进水管道。

优选地，所述进水管道的一端部与所述输水管道相通连接，所述进水管道的另一端部穿过外壳的内侧壁并延伸至外壳外部与抽水泵的输出端相连接，所述抽水泵与所述输水管道通过所述进水管道相连通。

优选地，若干个所述导热块围绕真空腔体的外侧壁均匀分布，若干个所述导热块分成与输水管道数量相同的若干组，每个所述输水管道均位于对应位置处那一组导热块开设的开口槽中。

优选地，若干组所述换热管道与若干组所述输水管道间隔设置，所述换热管道位于所述输水管道外侧。

3.有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

1、通过本实用新型设计的整体结构，利用散热组件将真空腔体内部的热量通过汽化的冷却水均匀散发到外壳中，使得真空腔体产生的热量可以均匀分布到体积较大的外壳中，同时通过换热组件，利用换热管道与水蒸气的接触将水蒸气的热量传输到第一连接管道中移动的冷却气体中，双管齐下，从而带走真空腔体产生的热量，提高对真空腔体的冷却效率。