[实用新型]一种专用清洗3061钟罩的设备

说明书

本实用新型公开了3061钟罩清洗技术领域的一种专用清洗3061钟罩的设备，包括清洗机和钟罩，清洗机的前侧上部设有箱门，右侧壁上设有控制箱，清洗机的顶面上连通有调节风阀，清洗机内部设有固定组件和喷淋组件，钟罩，本实用新型通过设置喷淋组件和固定组件，打开箱门，通过固定组件将钟罩固定，关闭箱门，通过控制箱控制清洗机内部零件，通过气动隔膜阀和气动隔膜泵控制喷水喷嘴和雾化喷嘴来回依次对钟罩进行一次水洗、酸洗和二次水洗，二次水洗后，通过控制气动隔膜阀连通氮气运输管，将氮气均匀喷洒在钟罩上，将酸液冲洗干净，避免了工作人员与酸液接触，损害身体，能够均匀的对钟罩进行冲洗。

技术领域

本实用新型涉及3061钟罩清洗技术领域，具体为一种专用清洗3061钟罩的设备。

背景技术

在半导体行业中，用于硅晶圆片和碳化硅晶圆片批量生产的外延炉的内腔因为耐高温、透光、无物质沾污的需求，基本使用高纯度石英材料制作，除了石英钟罩作为密闭腔体内用途外，为了保证晶体表面生长的气流均匀性和温度一致性，另外还会在腔体内放置各种形状的石英件。石英件的表面在一定次数的外延过程后，表面会沉积多种残留物质。这些残留物质在设备维护保养过程中定期清洗，否则会严重影响硅晶圆片和碳化硅晶圆片的外延层生长质量。钟罩是半导体生产中常用到的装置，需要专门的清洗机定期对钟罩进行清洗。现有的钟罩分为扁平式和圆筒式,3061钟罩是一种扁平式钟罩。

现有的对3061钟罩的清洗通常是由工作人员手持喷洒装置对其进行冲洗，但喷洒的酸液对人体有害，且人工喷洒喷洒时容易出现酸液喷洒不均匀的问题。

基于此，本实用新型设计了一种专用清洗3061钟罩的设备，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种专用清洗3061钟罩的设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种专用清洗3061钟罩的设备，包括清洗机和钟罩，清洗机的前侧上部设有箱门，右侧壁上设有控制箱，清洗机的顶面上连通有调节风阀，内腔中设有照明灯，清洗机内部设有固定组件和喷淋组件；

固定组件包括固定在清洗机内部上侧左右两端的固定座，固定座内固定有导向杆，两个导向杆之间滑动连接有下压板，下压板上设有喷淋罩，固定座内侧还插接有导向挡块，清洗机的中部下侧固定有下漏板，钟罩位于下漏板和下压板之间，清洗机内部左右两侧上还滑动连接有滑动挡块。

优选的，喷淋组件包括固定连通在下压板上的雾化喷嘴和喷水喷嘴，下漏板的上同样设有若干雾化喷嘴和喷水喷嘴，雾化喷嘴和喷水喷嘴分别通过管道连接有配液槽和外界水管，配液槽位于钟罩的左后方，雾化喷嘴与配液槽之间连接有气动隔膜泵、气动隔膜阀和氮气运输管，外界水管上连通有气动隔膜阀，下漏板的下方连通排水管道和排酸管道，二者均连通清洗机后侧壁，排水管道上连通有气动球阀，下漏板的左右两侧还设有漏液槽。

优选的，清洗机的顶面上方前侧转动连接有两个同轴的链轮，顶面后侧转动连接有两个惰轮，下压板的上方固定有移动板，移动板上左右两侧均固定有连接块，连接块上固定有链条，链条的另一端绕过对应的链轮和惰轮，伸入清洗机内，并固定有配重块。

优选的，排水管道上还连接有电导率检测计。

优选的，外界水管上还连接有气枪和水枪，气枪和水枪均挂在清洗机的侧壁上。

优选的，清洗机的底面固定有若干地脚和脚轮，清洗机的底面下方还设有防漏盘。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：