[实用新型]一种具有隔离环的单晶炉有效
申请号: | 202122213823.0 | 申请日: | 2021-09-14 |
公开(公告)号: | CN216809007U | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | 任杰;关树君;王楠;罗园;郭嘉伟 | 申请(专利权)人: | 乌海市京运通新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京巨弘知识产权代理事务所(普通合伙) 11673 | 代理人: | 张婧 |
地址: | 016000 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 隔离 单晶炉 | ||
本实用新型提供了一种具有隔离环的单晶炉,包括隔离环、导流筒环毡、保温盖板、保温毡和导流筒,导流筒上端部设置有法兰,保温盖板嵌套于导流筒外周,保温盖板上表面密贴法兰下表面,导流筒环毡设置于导流筒顶面,导流筒环毡外径和保温盖板外径均大于导流筒法兰外径,保温毡设置于导流筒环毡和保温盖板之间,保温毡为环状结构,保温毡内侧面设置隔离环,隔离环内侧面接触导流筒环毡外侧面下部、导流筒环毡下表面与导流筒法兰不重合位置、导流筒法兰外周。本实用新型隔离环的引入能够增加热场固毡寿命;隔离环的引入防止因固毡摩擦掉渣影响拉晶品质,降低单晶制造成本;原有热场的无隔离环,使用过程中石墨毡粉化更换较频繁。
技术领域
本实用新型涉及单晶硅生产领域,具体涉及一种具有隔离环的单晶炉。
背景技术
随着太阳能行业的发展,大尺寸单晶制造成本越来越高,降低单晶的制造成本越来越重要。目前行业内通过使用固态毡和软毡维持热场温度稳定,为晶体的正常生长提供稳定环境。但作为消耗品的固态毡质地脆,在单晶炉内高温运行时间长,边缘涂层易腐化,如果搬运和安装过程中稍有摩擦,就会造成局部脱落、掉渣;其次,固态毡损坏后掉入石英坩埚内在高温硅汤中会导致生产出的单晶棒品质下降,无形中加重了单晶制造成本。
所以需要安装(材质为等静压石墨制造)可以保护热场固态毡的导流筒隔离环延长其使用寿命。
发明内容
本实用新型是为了解决现有技术中作为消耗品的固态毡质地脆,在单晶炉内高温运行时间长,边缘涂层易腐化,如果搬运和安装过程中稍有摩擦,就会造成局部脱落、掉渣;其次,固态毡损坏后掉入石英坩埚内在高温硅汤中会导致生产出的单晶棒品质下降,无形中加重了单晶制造成本的问题,提供了一种具有隔离环的单晶炉,采用隔离环,隔离单晶炉热场保温毡和导流筒环毡,解决上述问题。
本实用新型提供了一种具有隔离环的单晶炉,包括隔离环、导流筒环毡、保温盖板、保温毡和导流筒,导流筒上端部设置有法兰,保温盖板嵌套于导流筒外周,保温盖板上表面密贴法兰下表面,导流筒环毡设置于导流筒顶面,导流筒环毡外径和保温盖板外径均大于导流筒法兰外径,保温毡设置于导流筒环毡和保温盖板之间,保温毡为环状结构,保温毡内侧面设置隔离环,隔离环内侧面接触导流筒环毡外侧面下部、导流筒环毡下表面与导流筒法兰不重合位置、导流筒法兰外周。
本实用新型所述的一种具有隔离环的单晶炉,作为一种优选方式,保温毡、保温盖板和导流筒环毡均为环形板状结构,导流筒环毡内径小于导流筒上端孔径,导流板环毡外径大于导流筒法兰直径,保温毡内径大于保温筒法兰外径,保温盖板内径面配合保温筒外壁设置,保温毡外径大小大于导流筒法兰直径。
本实用新型所述的一种具有隔离环的单晶炉,作为一种优选方式,隔离环、导流筒环毡、保温盖板、保温毡和导流筒共轴线设置。
本实用新型所述的一种具有隔离环的单晶炉,作为一种优选方式,隔离环转角处设置有倒角。
本实用新型所述的一种具有隔离环的单晶炉,作为一种优选方式,导流筒包括第一导流段、第二导流段和法兰,第一导流段为等径筒状结构,第二导流段为单向变径筒状结构,第二导流段最大直径筒口与第一导流段筒口连接,法兰设置于第一导流段另一筒口处,与第一导流段垂直。
现有的单晶炉热部件中的导流筒毡环和保温毡在合炉后直接接触,过程中产生摩擦,导致热场固毡边缘损坏,大大降低了固毡的使用寿命,且摩擦产生的粉末掉进坩埚直接影响单晶棒的品质。隔离环的设计就是为了隔离单晶炉热场保温毡和导流筒环毡,防止其接触产生摩擦损坏固毡,延长热场固毡的使用寿命;并对导流筒的下降起导向和限位作用,节省工时,降低单晶的制造成本。
炉台安装保温盖板后,安装保温毡,然后将隔离环放置于保温盖板上部,在导流筒升降过程防止导流筒环毡和保温间进行摩擦;在导流筒降至限定位置后,石墨环将顶部固毡与导流筒环毡隔离,起到保护固毡作用。
本实用新型有益效果如下:
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