[实用新型]探针卡保护装置

说明书

本申请公开了一种探针卡保护装置，用于保护探针卡，所述探针卡包括电路板，设置在电路板上的探针基座，以及设置在探针基座上的探针，其特征在于，所述探针卡保护装置包括至少一个连接柱和保护罩，所述连接柱的一端与所述电路板相连；所述保护罩包括罩体和连接部，所述罩体覆盖所述探针为所述探针提供保护；其中，所述连接柱上设置有滑槽，所述连接部与所述滑槽相匹配，所述保护罩可沿所述滑槽方向进行滑动实现保护罩的拆装，该探针卡保护装置拆装方便，安全可靠，制作简单，使用周期长，还不会对探针卡与测试机台的连接造成干涉，可为探针卡在与测试机台的拆装过程中提供有效保护。

技术领域

本实用新型涉及半导体测试领域，特别涉及一种探针卡保护装置。

背景技术

半导体生产制造的流程包括集成电路设计，晶圆制造，晶圆测试，晶圆切割，芯片封装，成品芯片测试。其中，晶圆测试可以将晶圆中有功能缺陷的芯片提前挑选出来，而晶圆测试中通常会用到具有多根探针的探针卡。测试时将探针卡上的探针与被测晶圆上的焊垫接触，探针输出的信号传输给测试仪器以实现晶圆测试。

现有的探针卡保护装置通常需要通过胶带与探针卡进行固定，在探针卡保护装置的拆装过程中便可能会对探针造成损害，胶带还可能具有残留，对探针卡造成污染。进一步地，在探针卡与测试机台连接的过程中，需要提前去除探针卡保护装置，再将探针卡固定在测试机台上，但在去除探针卡保护装置后，与测试机台进行固定的过程中探针并没有有效的保护，在此过程中如操作不当仍然会使探针卡上的探针损坏。探针的损坏多发生在探针卡的移动和安装拆卸过程中，现有的探针保护装置仅能对探针卡的移动过程提供保护，当探针卡在测试机台上进行拆装时则无法获得有效的保护。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型的目的在于提供一种探针卡保护装置，通过连接柱将保护罩覆盖在电路板上，无需使用胶带封装，不会对探针卡造成污染，且保护罩的拆装方便，安全可靠，使用周期长，还不会对探针卡与测试机台的连接造成干涉，可为探针卡在与测试机台的拆装过程中提供有效保护。

本实用新型提供一种探针卡保护装置，用于保护探针卡，所述探针卡包括电路板，设置在电路板上的探针基座，以及设置在探针基座上的探针，其特征在于，所述探针卡保护装置包括：至少一个连接柱，所述连接柱的一端与所述电路板相连；保护罩，所述保护罩包括罩体和连接部，所述罩体覆盖所述探针为所述探针提供保护；其中，所述连接柱上设置有滑槽，所述连接部与所述滑槽相匹配，所述保护罩可沿所述滑槽方向进行滑动实现保护罩的拆装。

优选地，所述滑槽位于所述连接柱的侧面，所述连接柱至少为两个，两个所述连接柱对称设置在所述探针基座的两侧。

优选地，所述滑槽的开口朝向所述探针基座或背离所述探针基座，所述保护罩可平行于所述电路板滑动。

优选地，所述罩体包括底边和侧边，所述底边和所述侧边围成管状结构。

优选地，所述电路板包括第一端，所述保护罩从所述第一端插入和抽出，所述第一端与所述探针基座之间包括至少4个对称设置在所述探针基座左右两侧的连接柱，以防止所述保护罩在插入和抽出时发生偏斜。

优选地，所述罩体的截面包括矩形、弧形、半圆形、半椭圆形中的任意一种。

优选地，所述滑槽包括矩形槽、T形槽中的至少一种。

优选地，所述连接柱的高度小于所述探针的高度，所述保护罩的高度大于所述探针的高度。

优选地，所述电路板还包括与测试机台连接的第一连接端和第二连接端，所述连接柱和所述保护罩均位于所述第一连接端和所述第二连接端之间，避免所述探针卡与测试机台拆装时与所述保护罩发生干涉。

优选地，所述罩体采用透明材料制成。