[实用新型]一种单晶炉加热器升降装置及单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉加热器升降装置，其特征在于，包括：

升降模组，所述升降模组为多个，多个所述升降模组均设置在所述单晶炉的下方，由多个所述升降模组围合形成第一区域，所述第一区域与所述单晶炉内坩埚放置区域相对应；

与每一所述升降模组对应设置：

空心密封组件，所述空心密封组件的顶端紧固设置于所述单晶炉的下方，所述空心密封组件的底端随所述升降模组升降；

电极，所述电极的底端容纳在所述空心密封组件内，所述电极的顶端贯穿所述单晶炉的炉底后容纳在所述单晶炉内；所述电极随所述升降模组升降；

连接件，所述连接件的底端与所述电极的顶端连接，所述连接件的顶端与加热器连接；

所述电极、连接件和加热器所具有的内侧面共面。

2.根据权利要求1所述的单晶炉加热器升降装置，其特征在于，所述连接件的底端具有第一安装槽，所述电极的顶端装配于所述第一安装槽；所述连接件的顶端具有第二安装槽，所述加热器的底端装配于所述第二安装槽。

3.根据权利要求2所述的单晶炉加热器升降装置，其特征在于，所述连接件包括第一安装槽和第二安装槽，所述第一安装槽靠近所述连接件的底端，并自靠近所述电极的一侧向远离所述电极的一侧开设；所述第二安装槽靠近所述连接件的顶端，并自靠近所述加热器的一侧向远离所述加热器的一侧开设；

所述电极的顶端装配于所述第一安装槽；

所述加热器的底端装配于所述第二安装槽。

4.根据权利要求1所述的单晶炉加热器升降装置，其特征在于，所述电极包括：

密闭壳体，所述密闭壳体内具有用于循环冷却介质的循环空间；

隔板，所述隔板设置在所述密闭壳体内；

贯穿所述密闭壳体在位于所述隔板一侧的位置形成所述冷却介质的入口，贯穿所述密闭壳体在位于所述隔板另一侧的位置形成所述冷却介质的出口。

5.根据权利要求1所述的单晶炉加热器升降装置，其特征在于，所述升降模组为两个，每一所述升降模组均对应配置一个伺服电机；或，所述升降模组为两个，两个所述升降模组共用一个伺服电机。

6.根据权利要求1所述的单晶炉加热器升降装置，其特征在于，每一所述升降模组均包括：支撑框，所述支撑框具有承载部和连接部，所述承载部与所述单晶炉的炉底垂直，所述连接部与所述承载部连接，且所述连接部与所述炉底平行并与所述炉底紧固；

直线导轨，所述直线导轨设置在所述承载部的内侧面上，并自所述承载部的底端向顶端延伸；

丝杠螺母副，所述丝杠螺母副设置在所述承载部的内侧面以内，并位于所述直线导轨的一侧；

升降板，所述升降板与所述丝杠螺母副所包括的螺母连接，并沿所述直线导轨升降；

伺服电机，所述伺服电机由所述支撑框支撑，并与所述丝杠螺母副动力连接；

所述空心密封组件的顶端与所述连接部连接，所述空心密封组件的底端与所述升降板连接；所述电极的底端与所述升降板连接。

7.根据权利要求6所述的单晶炉加热器升降装置，其特征在于，每一所述升降模组还包括减速器，所述减速器所具有的动力输入端与所述电机的输出轴连接，所述减速器所具有的动力输出端与所述丝杠螺母副动力连接。

8.根据权利要求6所述的单晶炉加热器升降装置，其特征在于，所述空心密封组件为波纹管，所述波纹管的顶端通过法兰与所述连接部紧固连接，所述波纹管的底端通过所述法兰与所述升降板紧固连接。

9.根据权利要求8所述的单晶炉加热器升降装置，其特征在于，所述法兰与所述空心密封组件相对的一面开设密封槽，所述密封槽内嵌入密封圈；和/或，所述加热器为石墨加热器。

10.一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括权利要求1至9任一项所述的单晶炉加热器升降装置。