[实用新型]一种光模组探针检测装置有效

专利信息
申请号: 202122171942.4 申请日: 2021-09-09
公开(公告)号: CN215813135U 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 张哲远 申请(专利权)人: 上海帆测科技发展有限公司
主分类号: G01R31/01 分类号: G01R31/01;G01R1/067;G01R1/04
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地址: 201100 上海市闵*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 模组 探针 检测 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种光模组探针检测装置,属于测试技术技术领域。包括基础平台、电控箱和模组检测装置,模组检测装置包括滑轨组,滑轨组可拆卸设置在基础平台上,滑轨组包括第一滑轨、第二滑轨和第三滑轨,第一滑轨上设有Y电机位移模组,Y电机位移模组上设有载物台,载物台上设有待测模组和模组夹,第二滑轨上设有第一X电机位移模组、第一Z电机位移模组和手动Y向位移台,手动Y向位移台上设有横梁、第一探针、第一夹具和第一摄像头,第三滑轨上设有第二X电机位移模组和第二Z电机位移模组,第二Z电机位移模组上设有第二探针、第二夹具和第二摄像头。通过提供一种光模组探针检测装置,节省了人力,并提高了效率。

技术领域

本实用新型涉及一种光模组探针检测装置,属于测试技术领域。

背景技术

光通信模组组装完成之后,需要对模组内的功能模块化测试,以提前鉴别出不合格的模组,防止对不合格的模组封盖,提高生产效率。

市场上有晶圆自动测试机用于测试晶圆半导体芯片,在测试时将完整的待测晶圆放置到探针台的水平工作面上,探针台事先通过平整度测试,保证工作平面的平整度,同时将测试起始位置坐标对位,然后通过控制探针台X、Y、Z三个方向的晶振运动,让待测试晶圆与固定的探针卡上的探针接触,通过针卡上连接的测试机发出和获取测试信号和数据来进行测试。

晶圆测试机正常工作的前提是,晶圆属于半导体制造,位于晶圆上不同芯片的尺寸和位置精度极高,因此可以控制电机按照固定的行程,依次使探针来测每个样品。而模组的装配精度依赖于机械装配,不同样品中包含的元器件装配位置和高度精度较差,因此不能依靠电机固定行程来做自动化测试。另一方面,模组的手工测试台效率低,人工成本高,无法满足光通信模组的大批量制造。因此,需要提供一种用于模组测试的自动化探针台,降低模组测试的成本,并提高测试效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于:提供一种光模组探针检测装置,它解决了现有技术中装配精度较差、模组的手工测试台效率低、人工成本高,无法满足光通信模组的大批量制造的问题。

本实用新型所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现:

一种光模组探针检测装置,包括基础平台、电控箱和模组检测装置;

所述模组检测装置包括滑轨组,滑轨组可拆卸设置在基础平台上;

所述滑轨组包括第一滑轨、第二滑轨和第三滑轨,第一滑轨上设有Y电机位移模组,Y电机位移模组上设有载物台,载物台上设有待测模组和模组夹;

所述第二滑轨上设有第一X电机位移模组、第一Z电机位移模组和手动Y向位移台,手动Y向位移台上设有横梁、第一探针、第一夹具和第一摄像头;

所述第三滑轨上设有第二X电机位移模组和第二Z电机位移模组,第二Z电机位移模组上设有第二探针、第二夹具和第二摄像头;

所述基础平台上设置有急停按钮、盖板、侧板和底板。

作为优选实例,所述底板的底部设置有脚垫。

本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型中的探针检测装置通过机器视觉识别探针、器件的几何参数,计算出探针与器件的位置关系,然后根据计算值控制电机使探针和器件的目标位置对准,节省了人力,并提高了效率。

2、底板的底部设置脚垫,可以增大设备的摩擦力和缓冲性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为基础平台的结构示意图;

图3为滑轨组的结构示意图;

图4为Y电机位移模组的结构示意图;

图5为手动Y向位移台的结构示意图;

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