[实用新型]工业化碳化硅微反应器集成装置

权利要求书

1.一种工业化碳化硅微反应器集成装置，其特征在于：包括物料缓冲系统（1）、物料输送系统（2）、反应系统（5）、温度控制系统（4）和自动控制系统（3），物料缓冲系统（1）通过物料输送系统（2）与反应系统（5）连接，温度控制系统（4）与反应系统（5）连接，自动控制系统（3）分别与物料缓冲系统（1）、温度控制系统（4）和反应系统（5）连接。

2.根据权利要求1所述的工业化碳化硅微反应器集成装置，其特征在于：所述物料缓冲系统（1）包括两个以上的物料缓冲罐（11），物料缓冲罐（11）上端设有进料口（12）和呼吸阀（13），物料缓冲罐（11）底部设有截止阀（14）。

3.根据权利要求2所述的工业化碳化硅微反应器集成装置，其特征在于：所述物料输送系统（2）包括输送管道（21），输送管道（21）上设有输送泵（23），输送泵（23）与电机（22）连接，输送管道（21）两端分别与物料缓冲系统（1）和反应系统（5）连接。

4.根据权利要求3所述的工业化碳化硅微反应器集成装置，其特征在于：所述温度控制系统（4）包括冷却换热系统，冷却换热系统通过两组以上并联的换热通道（41）与反应系统（5）连接，换热通道（41）上设有换热控制阀（42）。

5.根据权利要求4所述的工业化碳化硅微反应器集成装置，其特征在于：所述自动控制系统（3）包括电器控制柜，截止阀（14）、输送泵（23）和换热控制阀（42）分别与电器控制柜连接。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的工业化碳化硅微反应器集成装置，其特征在于：所述反应系统（5）为碳化硅微反应器，碳化硅微反应器上设有温度传感器和压力传感器，温度传感器和压力传感器与电器控制柜连接。