[实用新型]一种还原尾气废热回收系统

说明书

本实用新型公开了一种还原尾气废热回收系统，属于多晶硅生产技术领域，包括还原炉和尾气冷却器，还原炉通过尾气管与尾气冷却器相连，尾气管上依次设有硅粉过滤器、第一冷却器、第二冷却器和第三冷却器，第一冷却器的壳程两端分别连接有回收氢气进管和回收氢气出管，第二冷却器的壳程两端分别连接有氯硅烷进管和氯硅烷出管，第三冷却器的壳程两端分别连接有循环水进管和循环水出管；尾气冷却器的壳程上设有带压水管，带压水管上第一闪蒸罐和带压水泵，所述第一闪蒸罐上方设有第一蒸汽出管。本系统能够充分利用还原尾气的余热。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种还原尾气废热回收系统。

背景技术

从还原炉出来的还原尾气为高温气体，携带大量热量。目前，行业常规做法是利用带压热水冷却，从而产生不同压力等级的蒸汽，来实现热量的回收利用。采用这种方式回收热量后，还原尾气温度在进入下一个工序之前仍高达150~180℃。在后续工序（尾气回收）中需采用不同品味冷媒将这部分废热带走，如此会导致尾气回收冷却系统投资及运行费用增加，不够经济。新工艺流程中，为了进一步充分回收还原尾气中的低品位余热，利用还原尾气与回收氢气换热，在加热回收氢的同时，降低了还原尾气温度，减少了后续工段冷媒的用量，节约了投资及运行费用。此外，加热后的回收氢气与气相三氯氢硅混合物温度已满足进还原炉温度要求，无需对混合物料二次加热，因此可取消以往工艺中的还原炉炉前物料加热器。

发明内容

本实用新型旨在解决现有技术中存在的问题，提供一种还原尾气废热回收系统，用带压水充分利用尾气冷却器的高品余热，并产生蒸汽再次利用；通过还原氢气和低温氯硅烷利用第一冷却器和第二冷却器的低品余热，使得本系统余热利用率高。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种还原尾气废热回收系统，其特征在于：包括还原炉和尾气冷却器，所述还原炉通过尾气管与尾气冷却器相连，所述尾气管上依次设置有硅粉过滤器、第一冷却器、第二冷却器和第三冷却器，所述第一冷却器的壳程两端分别连接有回收氢气进管和回收氢气出管，所述第二冷却器的壳程两端分别连接有氯硅烷进管和氯硅烷出管，所述第三冷却器的壳程两端分别连接有循环水进管和循环水出管；所述尾气冷却器的壳程上设置有带压水管，所述带压水管上设有第一闪蒸罐和带压水泵，所述第一闪蒸罐上方设置有第一蒸汽出管。

优选的，所述还原炉与尾气冷却器之间还设置有尾气夹套管相连。

优选的，所述尾气夹套管的外管还与带压水管相连。

优选的，所述带压水管上还设置有第二闪蒸罐。

优选的，所述第二闪蒸罐上方设置有第二蒸汽出管。

优选的，所述带压水管上还设置有多个尾气冷却器和多个尾气夹套管。

优选的，所述尾气管上还设置有多个尾气冷却器和多个尾气夹套管。

工作原理：还原炉内产生尾气依次经过尾气夹套管和尾气冷却器，通过带压水将尾气夹套管和尾气冷却器处的水量带走，并通过第一闪蒸罐产生0.5-0.7 Mpa的蒸汽，通过第二闪蒸罐产生0.2-0.4Mpa的蒸汽，充分利用余热，经过换热的尾气经过硅粉过滤器除去硅粉后，再依次通过第一冷却器和第二冷却器，分别用进还原炉的回收氢气和低温氯硅烷再次利用低品余热，最后通过第三冷却器中循环冷却水冷却尾气，最后进入后续工段。本实用新型能充分利用还原尾气的余热。

本技术方案的有益效果如下：

一、本实用新型提供的一种还原尾气废热回收系统，用带压水充分利用尾气冷却器的高品余热，并产生蒸汽再次利用；通过还原氢气和低温氯硅烷利用第一冷却器和第二冷却器的低品余热，使得本系统余热利用率高。

二、本实用新型提供的一种还原尾气废热回收系统，尾气夹套管的设置进一步充分利用还原尾气的高品余热。