[实用新型]一种光伏发电多晶硅片生产用具有调节机构的定位工装有效
申请号: | 202122119961.2 | 申请日: | 2021-09-03 |
公开(公告)号: | CN216015319U | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 闵高;张绍太 | 申请(专利权)人: | 苏州金裕阳光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 合肥市都耒知识产权代理事务所(普通合伙) 34227 | 代理人: | 邱丹 |
地址: | 215316 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 发电 多晶 硅片 生产 用具 调节 机构 定位 工装 | ||
1.一种光伏发电多晶硅片生产用具有调节机构的定位工装,包括定位工装组件(1)和转向器(12),其特征在于:所述定位工装组件(1)的下方设置有升降组件(2),所述升降组件(2)包括底座(21),所述底座(21)的内部设置有第一丝杠(22),所述第一丝杠(22)的上方套接有第一螺母副(24),所述第一螺母副(24)的上方连接有活动杆(23),所述第一丝杠(22)的一侧连接有皮带轮传动机构(27),所述皮带轮传动机构(27)的中间设置有支撑杆(25),所述皮带轮传动机构(27)的另一端设置有第二丝杠(26),所述第二丝杠(26)的外部套接有第二螺母副(28)。
2.根据权利要求1所述的一种光伏发电多晶硅片生产用具有调节机构的定位工装,其特征在于:所述定位工装组件(1)包括工作台(11),所述工作台(11)的下方连接有转向器(12),所述转向器(12)的上方设置有支撑板(13),所述转向器(12)的上方连接有驱动杆(17),所述驱动杆(17)的两端皆连接有转动杆(16),所述转动杆(16)的另一端活动连接有第一滑块(15),所述转向器(12)的一侧设置有驱动轴(14),所述支撑板(13)的上方设置有第二滑块(18),所述第一滑块(15)与第二滑块(18)的上表面皆连接有连接座(19)。
3.根据权利要求2所述的一种光伏发电多晶硅片生产用具有调节机构的定位工装,其特征在于:所述工作台(11)的下方设置有轴承套,且轴承套的内部连接有转向器(12)的转动轴,所述支撑板(13)的中心开设有通孔,且通孔内部贯穿有转向器(12)的转动轴,所述支撑板(13)的上方设置有导轨,且导轨上方连接有第一滑块(15)和第二滑块(18)所述驱动杆(17)的两端通过转轴与转动杆(16)呈转动连接,所述转动杆(16)通过转轴与第一滑块(15)呈转动连接。
4.根据权利要求2所述的一种光伏发电多晶硅片生产用具有调节机构的定位工装,其特征在于:所述转动杆(16)共设置有两个,且转动杆(16)分别处于驱动杆(17)的两端,所述驱动杆(17)一侧的转动杆(16)连接有第一滑块(15),且驱动杆(17)另一侧的转动杆(16)连接有第二滑块(18)。
5.根据权利要求1所述的一种光伏发电多晶硅片生产用具有调节机构的定位工装,其特征在于:所述第一丝杠(22)的左侧呈光杆结构,所述第一丝杠(22)的右侧呈丝杠结构,所述第二丝杠(26)的左侧呈丝杠结构,所述第二丝杠(26)的右侧呈光杆结构,所述第一丝杠(22)与第二丝杠(26)的右端皆连接有皮带轮传动机构(27)。
6.根据权利要求1所述的一种光伏发电多晶硅片生产用具有调节机构的定位工装,其特征在于:所述活动杆(23)共设置有两组,且每组设置有两个,所述活动杆(23)的一侧固定连接在底座(21)的上表面,所述活动杆(23)的另一侧通过滑块连接在第一螺母副(24)的上表面,所述第一丝杠(22)与第二丝杠(26)上方结构相同。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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