[实用新型]一种氮化硅制品用炉子

权利要求书

1.一种氮化硅制品用炉子，包括底座（1）和设在底座（1）上用于烧制碳化硅制品的烧结炉主体（2），以及用于冷却烧结氮化硅制品的冷却箱（3），其特征在于，所述烧结炉主体（2）的进料口处设有用于将待烧制的氮化硅制品送进烧结炉主体（2）内部的送料机构（5），所述送料机构（5）包括设在烧结炉主体（2）进料口处的两个L形板（501），两个所述L形板（501）上设有用于放置待烧制氮化硅制品的制品放置板（6），两个所述L形板（501）之间设有两个连接板（502），两个所述连接板（502）上套设有电动推杆（503），所述电动推杆（503）的输出端设有用于推送制品放置板（6）的送料板（504）。

2.根据权利要求1所述的一种氮化硅制品用炉子，其特征在于，两个所述L形板（501）与烧结炉主体（2）的连接处均设有三角形的肋板（11）。

3.根据权利要求1所述的一种氮化硅制品用炉子，其特征在于，所述冷却箱（3）的进料口与烧结炉主体（2）的出料口之间设有U形连接板（4）。

4.根据权利要求1所述的一种氮化硅制品用炉子，其特征在于，所述冷却箱（3）和烧结炉主体（2）的顶端均开设有沉降槽（9），所述沉降槽（9）的内部均插接有与沉降槽（9）相匹配插接且竖直向下的密封板（7）。

5.根据权利要求1所述的一种氮化硅制品用炉子，其特征在于，所述烧结炉主体（2）和冷却箱（3）的顶端均设有用于驱动密封板（7）上下运动的密封板驱动件（8）。

6.根据权利要求5所述的一种氮化硅制品用炉子，其特征在于，所述密封板驱动件（8）包括设在烧结炉主体（2）顶端的U形支架（802）和连接两个密封板（7）的升降板（801），所述U形支架（802）的内部设有竖直向下的丝杆（803），所述丝杆（803）与升降板（801）的中部相套接，所述U形支架（802）的顶端安装有用于驱动丝杆（803）转动的驱动电机（804）。

7.根据权利要求6所述的一种氮化硅制品用炉子，其特征在于，两个所述密封板（7）之间设有位于升降板（801）两侧的加强板（10）。