[实用新型]一种精密测量装置

权利要求书

1.一种精密测量装置，其特征在于，包括底座，所述底座顶部设置有水平滑动机构，所述水平滑动机构上设置有电动旋转台，所述电动旋转台的输出端安装有放置板，所述放置板用于放置待测物；所述底座顶部还设置有直线位移传感器，所述直线位移传感器的测量头与所述电动旋转台的侧部连接，以待测所述电动旋转台的水平移动距离；所述底座顶部还设置有电子显微镜，用于观察待测物，所述电子显微镜的侧部设置有对准机构，用于对准待测物的待测边缘，在所述水平滑动机构带动所述电动旋转台运动，致使待测物的另一端待测边缘对准所述对准机构后，结合所述直线位移传感器测量出的位移距离，以得出待测物的测量数据。

2.根据权利要求1所述的一种精密测量装置，其特征在于，水平滑动机构包括固定在所述底座顶部的U形板，所述U形板的支板之间设置有若干滑轨，所述电动旋转台底部对应所述滑轨的位置设置有轨道副，所述轨道副滑动连接于所述滑轨上；所述U形板的支板之间还转动连接有第一丝杆，所述第一丝杆侧部套接有第一螺纹管，所述第一螺纹管侧部套接有联动板，所述联动板固定于所述电动旋转台的底部，旋转所述第一丝杆，以使所述第一螺纹管带动所述电动旋转台运动，所述U形板的侧部固定有步进电机，所述步进电机与所述第一丝杆的端头连接。

3.根据权利要求1所述的一种精密测量装置，其特征在于，所述电子显微镜通过L形杆固定于所述底座上方，所述L形杆的侧部还设置有照明组件，以对待测物照明。

4.根据权利要求1所述的一种精密测量装置，其特征在于，所述对准机构包括固定于所述电子显微镜侧部的水平板，所述水平板顶部向下贯穿设置有第二螺纹管，所述第二螺纹管内螺纹连接有第二丝杆，所述第二丝杆顶端设置有旋转手轮，底端转动连接有旋转板，所述旋转板的端头设置有环形圈，所述环形圈内拉有两根对准丝，所述对准丝相互垂直交叉。

5.根据权利要求4所述的一种精密测量装置，其特征在于，所述旋转板顶部设置有阻尼器，所述阻尼器与所述第二丝杆齿轮连接，以避免所述旋转板相对所述第二丝杆自行旋转。