[实用新型]一种配装于真空镀膜机的冷却系统

说明书

本实用新型公开了一种配装于真空镀膜机的冷却系统，包括机体、支脚、水液循环组件、压缩冷却组件和快速安拆组件，机体下方固定连接有支脚，机体内表面右侧安装有水液循环组件，水液循环组件左侧安装有压缩冷却组件，压缩冷却组件左侧安装有快速安拆组件，中腔下方设有单向皮阀，单向皮阀与壳体固定连接，腔管下方设有温差发电块，温差发电块下方设有导温板，曲柄一端滑动连接有稳固环，稳固环与壳体内表面固定连接，防止水箱中的热量堆积过多，而影响到机体的冷却效果，使得设备在保持一般散热效果的同时，还可以根据水箱温度，快速提高其散热结构的散热功效，防止短时间内出现大量热量堆积而导致冷却效率降低的情况。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种配装于真空镀膜机的冷却系统。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

但现有的真空镀膜机的冷却效率还有一些不足，不能够快速有效的将机体的热量的进行冷却，同时其普通散热结构难以满足高效散热的需要，为此我们提供了一种配装于真空镀膜机的冷却系统。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种配装于真空镀膜机的冷却系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种配装于真空镀膜机的冷却系统，包括机体、支脚、水液循环组件、压缩冷却组件和快速安拆组件，所述机体下方固定连接有支脚，所述机体内表面右侧安装有水液循环组件，所述水液循环组件左侧安装有压缩冷却组件，所述压缩冷却组件左侧安装有快速安拆组件。

优选的，所述水液循环组件还包括有水箱、水泵、分流管、软管、降温板管、冷却板、冷却腔、冷却片，所述水箱内表面右侧安装有水泵，所述水泵固定连接有分流管，所述分流管左侧可拆卸连接有软管，所述软管左端安装有降温板管，所述水箱内表面下方设有冷却板，所述冷却板下方设有冷却腔，所述冷却腔中部固定连接有冷却片。

优选的，所述压缩冷却组件还包括有壳体、入风口、中腔、风机、单向阀、腔管、活塞、曲柄、电机、溢流阀，所述壳体上方中部设有入风口，所述入风口下方设有中腔，所述中腔上方安装有风机，所述中腔中部两侧安装有单向阀，所述单向阀一侧固定连接有腔管，所述腔管内表面滑动连接有活塞，所述活塞上方转动连接有曲柄，所述曲柄一端安装有电机，所述腔管下方一侧安装有溢流阀。

优选的，所述快速安拆组件还包括有一号套环、二号套环、插销、提手，所述一号套环中部滑动连接有插销，所述插销外表面滑动连接有二号套环，所述插销上方固定连接有提手。

优选的，所述水箱内表面设有金属传导片，所述金属传导片与冷却板固定连接，所述水箱外表面设有温度计。

优选的，所述中腔下方设有单向皮阀，所述单向皮阀与壳体固定连接。

优选的，所述腔管下方设有温差发电块，所述温差发电块下方设有导温板。

优选的，所述曲柄一端滑动连接有稳固环，所述稳固环与壳体内表面固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型的水液循环组件通过水泵驱动水液流入软管、降温板管中，对机体内的热量进行冷却，将设备运行所产生的热量转入冷却水液中，保持设备的长期稳定可靠运行，能够快速有效的将机体的热量的进行冷却。