[实用新型]一种多晶硅清洗烘干一体设备

权利要求书

1.一种多晶硅清洗烘干一体设备，其特征在于：包括清洗装置（1）、微波复合干燥系统和电控系统；所述微波复合干燥系统位于所述清洗装置（1）的输送后端，所述电控系统分别与所述清洗装置（1）和微波复合干燥系统电连接；

所述微波复合干燥系统包括进料物料线（2）、出料物料线（3）、微波复合干燥机（4）和冷却组件（5）；所述进料物料线（2）和出料物料线（3）相互平行设置，所述微波复合干燥机（4）和冷却组件（5）均设置有若干台，所述若干微波复合干燥机（4）并联设置在所述进料物料线（2）和出料物料线（3）之间，所述若干冷却组件（5）与所述若干微波复合干燥机（4）一一对应，且与所述微波复合干燥机（4）连接。

2.如权利要求1所述的多晶硅清洗烘干一体设备，其特征在于：所述微波复合干燥机（4）为隧道式干燥机，包括快开门（41）、物料盒（42）、磁控管（43）和微波电源，所述快开门（41）设置在所述微波复合干燥机（4）外壁上，微波复合干燥机（4）内部形成微波谐振腔，所述物料盒（42）和磁控管（43）均位于所述微波谐振腔内部，且所述磁控管（43）与所述微波电源电连接。

3.如权利要求2所述的多晶硅清洗烘干一体设备，其特征在于：所述微波复合干燥机（4）内设置有空调热风进口（44）和过滤器（45），所述过滤器（45）位于所述微波谐振腔上方，所述空调热风进口（44）位于所述过滤器（45）上方。

4.如权利要求3所述的多晶硅清洗烘干一体设备，其特征在于：所述微波谐振腔底端连接有排风管（46），所述排风管（46）连接有抽风机（47）。

5.如权利要求2所述的多晶硅清洗烘干一体设备，其特征在于：所述冷却组件（5）包括换热器（51）、送风管（52）和排潮风机（53），所述送风管（52）一端连接所述换热器（51），另一端连接所述排潮风机（53），所述排潮风机（53）的出风口连通至所述微波谐振腔内。

6.如权利要求1所述的多晶硅清洗烘干一体设备，其特征在于：所述电控系统包括控制单元以及人机操作单元。

7.如权利要求1所述的多晶硅清洗烘干一体设备，其特征在于：所述进料物料线（2）和出料物料线（3）均采用塑料滚珠网带或非金属双边轮带式动力结构。

8.如权利要求1所述的多晶硅清洗烘干一体设备，其特征在于：所述微波复合干燥机（4）并联设置有七台。