[实用新型]一种用于TFT-LCD PVD设备的自动滚刷机构

说明书

本实用新型公开了一种用于TFT‑LCD PVD设备的自动滚刷机构，至少包括基座、调速电机和毛刷，所述调速电机设置于所述基座上，所述毛刷连接至所述调速电机，所述基座至少包括彼此大致平行的第一电机安装板和第二电机安装板，所述第一电机安装板和所述第二电机安装板均包括彼此大致平行的第一板体和第二板体，所述毛刷转动设置于所述第一板体和所述第二板体之间，其中，所述第一电机安装板和所述第二电机安装板经连接板连接固定。

技术领域

本实用新型涉及滚刷装置技术领域，尤其涉及一种用于TFT-LCD PVD设备的自动滚刷机构。

背景技术

TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示)的PVD(物理气相沉积:Physical VaporDeposition)制程是指在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜技术。PVD设备则是通过将来料(玻璃)自动放置在轨道TRAY(托盘)上，对来料 (玻璃)进行表面镀膜技术的自动化设备。在该制程中，用于放置来料的轨道TRAY是重复循环使用的，日积月累在TRAY的底部轨道上会吸附一些金属颗粒和异物，对TFT-LCD产品有严重的品质隐患。因此，本申请旨在提供一种能够将TRAY底部的异物去除并吸附至设备外部环境中的自动滚刷机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种用于TFT-LCD PVD设备的自动滚刷机构。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：一种用于TFT-LCD PVD设备的自动滚刷机构，至少包括基座、调速电机和毛刷，所述调速电机设置于所述基座上，所述毛刷连接至所述调速电机，所述基座至少包括彼此大致平行的第一电机安装板和第二电机安装板，所述第一电机安装板和所述第二电机安装板均包括彼此大致平行的第一板体和第二板体，所述毛刷转动设置于所述第一板体和所述第二板体之间，其中，所述第一电机安装板和所述第二电机安装板经连接板连接固定。

优选的，所述第一板体和所述第二板体之间设置有至少两个支撑柱，所述第一板体和所述第二板体均连接至底部封板以限定出第一负压腔和第二负压腔。

优选的，所述毛刷至少包括若干个第一毛刷和若干个第二毛刷，所述若干个第一毛刷转动设置于所述第一负压腔中，所述若干个第二毛刷转动设置于所述第二负压腔中。

优选的，在所述调速电机设置于第一板体上的情况下，所述第二板体上设置有固定孔，所述固定孔中嵌套设置有轴承，所述轴承嵌套设置有连接套，毛刷的一端连接至所述调速电机，毛刷的另一端连接至所述连接套。

优选的，所述第一负压腔的外壁上设置有第一光电传感器，所述第二负压腔的外壁上设置有第二光电传感器。

优选的，所述第一光电传感器设置于基座的第一侧，所述第二光电传感器设置于基座的第二侧。

优选的，所述第一负压腔上设置有第一负压抽尘管道，所述第二负压腔上设置有第二负压抽尘管道。

优选的，所述底部封板上设置有至少两个第一定位槽，所述连接板上设置有至少两个第二定位槽。

优选的，第一定位槽和第二定位槽各自的横截面的形状均能够有半圆形限定。

优选的，第一定位槽和第二定位槽的连线能够大致垂直于毛刷的轴向。

本实用新型具有以下优点：

(1)第一电机安装板和第二电机安装板中均单独设置有独立驱动的毛刷，毛刷能够单独清洁不同的区域。

(2)第一产品和第二产品能够沿不同方向错开进入自动滚刷机构，进而能够提高清洁效率。

(3)毛刷通过卡接的方式与调速电机和连接套连接，维护更换极为方便。

附图说明