[实用新型]一种衬底包装袋

说明书

本实用新型属于包装袋技术领域，具体涉及一种衬底包装袋，包括袋体，所述袋体包括表层和底层，所述袋体内设置有导气组件，所述导气组件包括第一带体和第二带体，所述表层、底层、第一带体和第二带体形成气道，所述气道包括传输段和出气段，所述传输段位于袋体内的一侧，所述传输段的顶端设置有进气口，所述进气口与袋体的袋口齐平，所述出气段位于袋体内的底部，所述出气段的区域内开设有若干通孔，若干所述通孔等距分布。解决在向包装袋内充入氮气时，常常从包装袋的开口处充入氮气，再将包装袋内的氮气抽出，多次循环，以达到降低包装袋内氧含量的目的，但氮气利用率低，成本较高。

技术领域

本实用新型属于包装袋技术领域，尤其涉及一种衬底包装袋。

背景技术

衬底特指尚未开始进行表面加工的晶圆，衬底如果长时间暴露在空气中，极易影响衬底质量，一方面，衬底会与空气中的氧气发生反应；另一方面，空气中的灰尘等容易吸附在衬底上。因此，衬底在清洗车间完成清洗后，需要快速的进行包装，避免衬底长时间暴露在空气中。

目前对衬底进行包装时，先将衬底放入晶圆盒中，再将晶圆盒放入包装袋中，随后将包装袋放入抽真空装置中，通过抽真空装置将包装袋内的空气抽出。由于衬底本身容易破碎，抽真空装置无法将包装袋内的空气全部抽出，因此，需要向包装袋内充入氮气，将包装袋内原有的空气排出，降低包装袋内的氧含量，最后通过抽真空装置将包装袋封死即可。

现有技术中，在向包装袋内充入氮气时，常常从包装袋的开口处充入氮气，再将包装袋内的氮气抽出，并多次循环，以达到降低包装袋内氧含量的目的，但这样的方式因为需要多次向包装袋内充入氮气的原因，氮气利用率低，成本较高。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种衬底包装袋，解决现有技术在向包装袋内充入氮气时，氮气利用率低，成本较高的问题。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：

一种衬底包装袋，包括袋体，所述袋体包括表层和底层，所述袋体内设置有导气组件，所述导气组件包括第一带体和第二带体，所述表层、底层、第一带体和第二带体形成气道，所述气道包括传输段和出气段，所述传输段位于袋体内的一侧，所述传输段的顶端设置有进气口，所述进气口与袋体的袋口齐平，所述出气段位于袋体内的底部，所述出气段的区域内开设有若干通孔，若干所述通孔等距分布。

进一步，所述第一带体与第二带体之间设置有弯折部。

进一步，所述进气口处设置有封口带，所述封口带上开设有插孔，所述插孔的圆周处缝合有弹性环。

进一步，所述封口带的中部位置向气道内弯曲。

进一步，所述表层于袋体的袋口处开设有缺口。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的一种衬底包装袋，一方面，通过设置导气组件，氮气充气管向气道内充入氮气，氮气从进气口进入氮气后，通过传输段进入到出气段内，并通过出气段上开设的通孔进入到袋体内，将袋体内残存的空气从袋体的开口处挤出，能够在保证袋体内含氧量符合要求的前提下，有效降低氮气的消耗量，节约成本；另一方面，通过设置封口带，便于氮气充气管插入插孔内，且能够防止充入气道内的氮气从进气口处外溢。

附图说明

图1是本实用新型一种衬底包装袋的结构示意图；

图2是本实用新型一种衬底包装袋的剖面结构示意图；

图3是本实用新型一种衬底包装袋中进气口处的放大结构示意图；

图4是本实用新型一种衬底包装袋的截面示意图。

其中，袋体1，表层11，缺口111，底层12，第一带体21，第二带体22，弯折部23，气道3，传输段31，进气口311，出气段32，通孔321，封口带4，插孔41，弹性环42。