[实用新型]三相交流直筒式石墨内加热器

说明书

本实用新型公开了一种三相交流直筒式石墨内加热器，包括连接环，所述连接环下方沿圆周均匀设置有三个弧形连接板，所述弧形连接板与连接环之间设置有电极板，所述连接环、三个电极板和三个弧形连接板一体制备形成管状加热本体，所述管状加热本体的三个弧形连接板分别与三个附电极通过星型接法连接，三个附电极沿圆周方向均匀布置且用于固定和支撑管状加热本体。本实用新型具有体积小、易加工、不易破损、功率高和造价低的优点。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长技术领域，具体涉及一种三相交流直筒式石墨内加热器。

背景技术

随着人们对单晶原料、镀膜材料及多晶材料应用需求大大增加，现有尺寸的坩埚已经无法满足快速生产的使用，最有效的方式是采用大尺寸坩埚直接制备，随着坩埚尺寸的变大，加热器尺寸也随之增加；

现有的加热器均为外加热形式，设置在坩埚的外侧对坩埚进行加热，随着坩埚直径尺寸增大，加热器的加工困难大大增加，并且价格也成倍的上涨，极大增加了使用成本；在运输、安装等环节中，由于体积大，极易发生磕碰损坏；现有加热器的使用大大降低了使用体验感受。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种三相交流直筒式石墨内加热器，具有体积小、易加工、不易破损、功率高和造价低的优点。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种三相交流直筒式石墨内加热器，包括连接环，所述连接环下方沿圆周均匀设置有三个弧形连接板，所述弧形连接板与连接环之间设置有电极板，所述连接环、三个电极板和三个弧形连接板一体制备形成管状加热本体，所述管状加热本体的三个弧形连接板分别与三个附电极通过星型接法连接，三个附电极沿圆周方向均匀布置且用于固定和支撑管状加热本体。

进一步地，所述电极板为S型结构，一端与弧形连接板连接，另一端与连接环连接。

进一步地，所述管状加热本体采用高纯石墨棒材钻通孔后用铣床加工制备而成。

进一步地，所述高纯石墨棒材的电阻率小于7Ω·M。

进一步地，所述附电极包括外伸臂，所述外伸臂表面位于靠近管状加热本体一侧的端部上设置有锁固凸部，所述外伸臂底面远离管状加热本体一侧的端部上设置有支撑连接支脚。

进一步地，在管状加热本体安装前，相邻两个电极板之间设置有连接点。

进一步地，还包括环形隔离支撑底座，所述环形隔离支撑底座罩设在管状加热本体底部的外周上，所述环形隔离支撑底座用于摆放坩埚。

进一步地，所述环形隔离支撑底座外周上设置有承接托环。

本实用新型的有益效果：

1、通过三个附电极能够将管状加热本体居中设置，从而在中间进行加热，大大降低了加热器的尺寸，结构小，制备成本低，且不易损坏。

2、虽然体积小，但是采用了三相交流结构，功率得到保证，加热效果好。

附图说明

图1是本实用新型的管状加热本体结构示意图；

图2是本实用新型图1中结构展开的示意图；

图3是本实用新型的管状加热本体与附电极的结构示意图；

图4是本实用新型具有环形隔离支撑底座的配合连接示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。