[实用新型]一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置有效
| 申请号： | 202122066612.9 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN215499699U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 赵政;李江涛;梅家葆;戴志锋 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;C02F1/30 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 安彦彦 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 低温 等离子体 活化 水雾 产生 装置 | ||
1.一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，包括高压脉冲电源(1)、水雾产生装置(2)、输气管(3)和放电装置(4)，放电装置(4)包括壳体，壳体上方开有入口，下方开有出口，水雾产生装置(2)通过输气管(3)与放电装置(4)的入口连接；
壳体内设有多层线电极，多层线电极平行设置，组成放电阵列；每层线电极包括若干个电极，在第i层线电极中，奇数电极作为高压电极，偶数电极作为地电极；在第i-1或i+1层线电极中，偶数电极作为高压电极，奇数电极作为地电极；
高压电极连接高压脉冲电源(1)，地电极连接大地，在高压电极和地电极之间产生放电等离子体。
2.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，壳体内填充有工作气体，工作气体为稀有气体。
3.根据权利要求2所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，稀有气体采用氦气或氩气。
4.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，壳体内壁上设有温度监测装置(5)。
5.根据权利要求4所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，温度监测装置(5)设置在壳体下侧。
6.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，高压电极和地电极均由金属制成。
7.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，高压脉冲电源(1)采用重复频率高压纳秒脉冲电源。
8.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，高压脉冲电源(1)的参数为：电压幅值10kV及以上，脉冲频率1kHz以上，脉冲宽度小于100ns。
9.根据权利要求1所述的一种大面积低温等离子体活化水雾产生装置，其特征在于，每层线电极包括偶数个电极。
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