[实用新型]一种更换气缸组件的工具

说明书

本实用新型提供了一种更换气缸组件的工具，包括升降台、底座、驱动单元，所述升降台安装在所述底座的上方，所述升降台与所述驱动单元连接，所述驱动单元用于驱动所述升降台相对所述底座上下移动；所述升降台的上表面设置有凹槽，所述凹槽用于固定所述气缸组件。可以将气缸组件放在所述升降台的凹槽内，然后提升所述升降台，这样不再需要作业人员托举气缸组件，消除了安全隐患；并且在安装气缸组件的过程中，用于固定气缸组件的螺丝不再承受气缸组件重量的影响，螺丝的螺牙不会损坏；另外，可以移动所述工具的位置，从而调节所述气缸组件的位置，使气缸组件中的连接板的孔与设备上的安装板的孔快速对准，提高安装效率。

技术领域

本发明涉及晶圆刻蚀技术领域，特别涉及一种更换气缸组件的工具。

背景技术

晶圆的刻蚀设备中通常包含气缸组件，气缸组件包括气缸、连接板和驱动杆等部件。气缸组件的重量较重，有的重量在20KG以上，并且安装气缸组件的空间较小，不方便更换。例如，在型号为Lam Kiyo的刻蚀机中，气缸组件安装在腔体和真空传送模块(VacuumTransfer Module，VTM)之间的门框处，腔体内有真空手臂，真空手臂妨碍气缸组件的更换。另外，门阀组件(slit door)的气缸经过长时间运行后，气缸内部的气缸轴承上的润滑油固化，气缸机械结构磨损或者感应器老化等故障发生时，均需要更换气缸组件。

目前主要通过人工托举的方法更换气缸组件，作业人员躺在气缸组件的下方，一只手托着气缸，一只手拆卸或拧紧气缸组件的螺丝，这样不仅存在安全隐患，而且螺丝的螺牙容易损坏。

实用新型内容

本实用新型提供了一种更换气缸组件的工具，以解决更换气缸组件时存在安全隐患和螺丝的螺牙容易损坏的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种更换气缸组件的工具，包括升降台、底座、驱动单元，所述升降台安装在所述底座的上方，所述升降台与所述驱动单元连接，所述驱动单元用于驱动所述升降台相对所述底座上下移动；所述升降台的上表面设置有凹槽，所述凹槽用于固定所述气缸组件。

可选的，所述驱动单元包括丝杠、涡轮和蜗杆；所述涡轮为圆环形，所述涡轮的内壁设置有内螺纹，所述涡轮的外壁设置有齿轮；所述丝杆的外壁设置有外螺纹，所述丝杆的一端与所述升降台连接，另一端穿过所述涡轮并与所述涡轮的内螺纹连接；所述蜗杆的外壁设置有齿轮，所述蜗杆的齿轮与所述涡轮的齿轮啮合连接。

可选的，所述蜗杆的一端连接一个摇把，所述摇把用于控制所述蜗杆转动。

可选的，所述涡轮和所述蜗杆位于所述底座的内部，所述摇把位于所述底座的外部。

可选的，所述气缸组件包括气缸，所述气缸的底部为圆柱形，所述凹槽的形状为圆柱形，所述凹槽用于容纳所述气缸的底部。

可选的，所述气缸组件包括气缸，所述气缸的底部为长方体形，所述凹槽的形状为长方体形，所述凹槽用于容纳所述气缸的底部。

可选的，所述升降台和所述底座的形状均为长方体形。

本实用新型提供的一种更换气缸组件的工具，可以将气缸组件放在所述升降台的凹槽内，然后提升所述升降台，这样不再需要作业人员托举气缸组件，消除了安全隐患；并且在安装气缸组件的过程中，用于固定气缸组件的螺丝不再承受气缸组件重量的影响，螺丝的螺牙不会损坏；另外，可以移动所述工具的位置，从而调节所述气缸组件的位置，使气缸组件中的连接板的孔与设备上的安装板的孔快速对准，提高安装效率。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的一种更换气缸组件的工具刚开始提升气缸组件时的结构示意图。

图2是本实用新型一实施例提供的一种更换气缸组件的工具将气缸组件提升到指定位置时的结构示意图。

[附图标记说明如下]：