[实用新型]一种可定量调节灯丝高度的装配工装

说明书

本实用新型提供了一种可定量调节灯丝高度的装配工装，所述装配工装包括定量调节支撑工装和定量调节工装，其中：所述定量调节支撑工装的两端开口、中心形成供灯丝组件进入的中空通道，所述定量调节支撑工装上设有用于固定所述灯丝组件的固定部；所述定量调节工装包括底座和固定于所述底座的上端面的圆柱凸台，所述底座的上端面与所述定量调节支撑工装的下端面接触时，圆柱凸台穿过所述定量调节支撑工装的底部开口进入到所述中空通道内与灯丝组件中的阴极灯丝接触以定量调节阴极灯丝高度。本实用新型能够实现灯丝装配相对高度的定量调节，无需人工手动单件单调，有效提高装配效率与装配质量。

技术领域

本实用新型涉及装配工装技术领域，特别是涉及一种可定量调节灯丝高度的装配工装。

背景技术

电子枪是采用直接轰击材料加热蒸发方法，枪体由阴极灯丝，栅极，阳极，聚焦线圈，XY偏转线圈等部分组成。阴极灯丝用钨等高温金属制成，当其接上电源加热至白热化时即从阴极灯丝金属表面发射热电子，这些电子先经阴极发射出电子束，同时再受接地电位的阳极作用而向之作加速运动，当穿过阳极中心孔洞后，被充分加速且逐渐发散的电子束再经由聚焦线圈的磁场作用而聚集并引出电子枪体，最后则直接轰击于承装在坩埚内待镀材料表面。至于XY偏转线圈则是利用其所形成之XY方向磁场的作用，使电子束在XY方向作小幅度位移，达到聚焦点在待镀材料表面扫描目的。

其中阴极灯丝的高度会直接影响阴极区的等位面曲率，从而影响阴极所发射的电子经聚焦后的轰击面积，所以阴极灯丝高度是影响电子束发射参数一致性的关键因素。阴极灯丝的材料主要采用钨等高温金属制成，由于钨丝等高温金属硬度高，易断裂的属性特点，导致阴极灯丝高度参数在装配过程中难以控制，目前通过人工手动调节的方式进行阴极灯丝的装配，无法满足阴极灯丝一致性和高效率装配的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中存在的阴极灯丝高度不易精确调节的问题，而提供一种可定量调节阴极灯丝高度的装配工装。

为实现本实用新型的目的所采用的技术方案是：

一种可定量调节灯丝高度的装配工装，包括定量调节支撑工装和定量调节工装，其中：

所述定量调节支撑工装的两端开口、中心形成供灯丝组件进入的中空通道，所述定量调节支撑工装上设有用于固定所述灯丝组件的固定部；

所述定量调节工装包括底座和固定于所述底座的上端面的圆柱凸台，所述底座的上端面与所述定量调节支撑工装的下端面接触时，圆柱凸台穿过所述定量调节支撑工装的底部开口进入到所述中空通道内与灯丝组件中的阴极灯丝接触以定量调节阴极灯丝高度。

在上述技术方案中，所述固定部包括设置于所述定量调节支撑工装的环周侧壁的一个或多个通孔结构，所述通孔结构与所述灯丝组件的紧固螺纹孔相对设置以固定所述灯丝组件。

在上述技术方案中，所述通孔结构设有二～四个，所述通孔结构均布在所述环周侧壁上，所述通孔结构以定量调节支撑工装的轴心为轴对称设置。

在上述技术方案中，所述固定部还包括设置于所述定量调节支撑工装内壁的定位凸台，定位凸台环周设置，定位凸台与灯丝组件接触配合。

在上述技术方案中，所述定量调节支撑工装为圆筒形结构，所述定量调节支撑工装的下端面为定位环面，所述定位环面与所述底座贴合接触，所述定位环面的中心形成供所述圆柱凸台进入的底部开口。

在上述技术方案中，所述底部开口为圆形孔，所述圆形孔的直径大于所述圆柱凸台的外径。

在上述技术方案中，所述定量调节支撑工装的材质为不锈钢3Cr13，具有高强度、硬度和耐磨性，可靠耐用。

在上述技术方案中，所述底座为圆盘形底座，所述圆盘形底座的外径大于所述定量调节支撑工装的下端面的外径。

在上述技术方案中，所述圆柱凸台同轴心固定于所述圆盘形底座的上端面上。