[实用新型]除泡容器及在线计数装置

说明书

本申请公开了一种除泡容器及在线计数装置，所述除泡容器内具有容置腔，所述除泡容器上开设有与所述容置腔连通的进样口和出样口，所述除泡容器于所述容置腔内设有遮挡件，所述遮挡件位于所述进样口和所述出样口之间；其中，所述进样口用于将液体样品引入所述容置腔，所述出样口用于将所述容置腔中的液体样品引出所述容置腔；在所述除泡容器的高度方向上，所述遮挡件的顶部不低于所述出样口；所述在线计数装置包括除泡容器及粒子计数器，所述粒子计数器用于对引入所述在线计数装置的液体样品中的颗粒进行计数，本申请通过除泡容器减小了气泡通过出样口进入至粒子计数器中的可能性，提高了检测结果的准确度。

技术领域

本申请涉及取样设备技术领域，尤其涉及一种在线计数装置。

背景技术

颗粒指在一尺寸范围内具有特定形状的几何体，这里所说的一尺寸一般在毫米到纳米之间，颗粒不仅指固体颗粒如灰尘、金属离子碎屑等，还有雾滴、油珠等液体颗粒。

液体颗粒(Liquid particle)是指除气体外，分散在液体化学试剂中并和化学试剂形成一个均匀液相的物质，那么颗粒混入液体中将形成液体颗粒。

在晶片生产过程中，化学试剂中必定含有颗粒，若化学试剂中的颗粒残留在晶片产品上会使晶片产品产生缺陷，进而导致晶片产品的良品率降低，因此监测化学试剂中的颗粒数量是否处在合理范围内对半导体工艺至关重要。

目前化学实验室是采用样品瓶进行采样，然后将样品瓶运输至化学实验室，并使用颗粒计数仪(LPC)离线检测液体样品中的颗粒数量，导致检测不准确。

实用新型内容

本申请实施例提供一种除泡容器及在线计数装置，能够提高检测结果的准确度。

第一方面，本申请实施例提供了一种除泡容器，所述除泡容器内具有容置腔，所述除泡容器上开设有与所述容置腔连通的进样口和出样口，所述除泡容器于所述容置腔内设有遮挡件，所述遮挡件位于所述进样口和所述出样口之间；

其中，所述进样口用于将液体样品引入所述容置腔，所述出样口用于将所述容置腔中的液体样品引出所述容置腔；在所述除泡容器的高度方向上，所述遮挡件的顶部不低于所述出样口。

基于本申请实施例的除泡容器，除泡容器通过进样口连通外部设备，通过出样口连通计数设备，进样口用于将液体样品引入至容置腔内，出样口用于将容置腔内的液体样品引入至计数设备内，由于通过进样口进入除泡容器的液体样品可能因含有空气而产生气泡，若气泡通过出样口进入至计数设备内，计数设备将气泡作为颗粒进行计数，导致检测结果偏大，因此，容置腔内于进样口和进样口之间设置遮挡件，使通过进样口进入缓冲密封瓶的液体样品必须经过遮挡件上方才能流动至出样口，进一步，在除泡容器的高度方向上，使遮挡件顶部不低于出样口，则气泡在经过遮挡件上方后，在除泡容器的高度方向上，气泡的位置一定不低于出样口，同时，气泡必然受到自身浮力在容置腔内上浮，即气泡经过遮挡件上方后，自身位置不低于出样口并且因自身浮力将在容置腔内继续上浮，气泡则势必不能被出样口引出容置腔，避免了气泡通过出样口进入计数设备致使检测结果偏大，提高了检测精度。

在本申请的一些实施例中，在所述除泡容器的高度方向上，所述遮挡件的顶部与所述出样口平齐；和/或，在所述除泡容器的高度方向上，所述进样口高于所述出样口。

基于上述实施例，由于液体样品通过进样口进入至除泡容器的容置腔内，若液体样品要通过出样口进入至计数设备内，则液体样品可经过遮挡件的顶部才能进入出样口，若遮挡件顶部高于出样口，新鲜液体经过遮挡件顶部后将处于出样口的上方，因此，为保证粒子计数器可及时采集到新鲜的液体样品，使遮挡件的顶部与出样口平齐，新鲜液体经过遮挡件顶部后与出样口平齐，便于粒子计数器采集新鲜的液体样品；在保证遮挡件可阻挡气泡进入至出样口时，又使新鲜液体样品可及时进入至出样口内，进样口高于出样口，使得进样口与出样口之间的压差值为正值，防止在进样口不引入液体样品时容置腔内的液体样品倒流。