[实用新型]蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，具有一蒸镀腔体，其特征在于，所述蒸镀设备包括：

蒸镀源，设置在所述蒸镀腔体的底部；其中，所述蒸镀源的数量设置至少两个，每个所述蒸镀源间隔排布，且每个所述蒸镀源到所述蒸镀腔体的中心线的距离相等；以及

蒸镀锅，设置在所述蒸镀腔体的顶部，所述蒸镀锅在所述蒸镀腔体内绕所述中心线公转；

其中，单个所述蒸镀源用于将蒸镀材料转化为气体分子蒸镀材料，所述气体分子蒸镀材料在所述蒸镀腔体中运动形成单个蒸镀区域；

所有所述单个蒸镀区域构成总蒸镀区域，所述蒸镀锅对应设置在所述总蒸镀区域内。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所有所述蒸镀源的朝向都朝正上；

所述总蒸镀区域包括第一叠加蒸镀区域和第一非叠加蒸镀区域，所述第一非叠加蒸镀区域在所述第一叠加蒸镀区域的周围，所述第一非叠加蒸镀区域大于所述第一叠加蒸镀区域；

所述蒸镀锅对应所述第一非叠加蒸镀区域设置。

3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所有所述蒸镀源的中轴线穿过所述蒸镀锅的中心点公转所经过的路径。

4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所有所述蒸镀源的朝向都倾斜朝所述中心线；

所述总蒸镀区域包括第二叠加蒸镀区域和第二非叠加蒸镀区域，所述第二非叠加蒸镀区域在所述第二叠加蒸镀区域的周围，所述第二非叠加蒸镀区域小于所述第二叠加蒸镀区域；

所述蒸镀锅对应所述第二叠加蒸镀区域设置。

5.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括：

导轨，所述导轨固定连接所述蒸镀腔体的内壁上；

所述蒸镀锅的数量设置至少两个，至少两个所述蒸镀锅围绕所述中心线均匀分布，所有所述蒸镀锅设置在所述导轨上。

6.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括：

支撑架，所述支撑架连接所有所述蒸镀锅；

转轴，所述转轴连接所述支撑架；以及

发动机，用于提供机械能给所述转轴。

7.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀材料包括主体材料和掺杂材料；至少一个所述蒸镀源用于容纳所述主体材料，至少一个所述蒸镀源用于容纳所述掺杂材料。

8.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀锅的蒸镀面为平面或凹面；其中，所述蒸镀面为所述蒸镀锅被蒸镀的一面。

9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀锅倾斜设置，所述蒸镀锅的所述蒸镀面朝向所述中心线。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的蒸镀设备，其特征在于，

以所述中心线为对称线，所述蒸镀源的数量设置两个，两个所述蒸镀源对称分布；或者

以所述中心线为参考线，所述蒸镀源的数量设置三个，三个所述蒸镀源呈等边三角形分布。