[实用新型]一种掺杂装置有效
| 申请号： | 202122002055.4 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN216074099U | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 侯明超;周宏邦;贾海洋;王淼;张强;孔凯斌;刘伟;娄中士;王立刚 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 装置 | ||
1.一种掺杂装置，其特征在于，包括：盛放固态掺杂剂的承载仓和与所述承载仓一体连接设置的导流仓，所述承载仓下端内壁为弧形面，可使气化后的掺杂剂沿其内壁统一进入所述导流仓中逐次向熔硅液扩散，以使掺杂剂完全与熔硅液混合。
2.根据权利要求1所述的一种掺杂装置，其特征在于，所述承载仓位于所述导流仓的上方并与所述导流仓同轴设置；
且所述承载仓与所述导流仓的连接段中至少配设有一个通孔，以连通所述承载仓和所述导流仓。
3.根据权利要求1或2所述的一种掺杂装置，其特征在于，所述承载仓的仓体为筒柱型结构，且其上顶部和下端部均为圆弧形结构。
4.根据权利要求3所述的一种掺杂装置，其特征在于，在所述承载仓的上顶部配设有吊环和投料口，其中，所述吊环位于所述承载仓的上顶部中心位置处；所述投料口位于所述承载仓的上顶部的侧部。
5.根据权利要求1-2、4任一项所述的一种掺杂装置，其特征在于，所述承载仓的高度大于其内直径；且所述承载仓的外径小于所述导流仓的最大外径。
6.根据权利要求5所述的一种掺杂装置，其特征在于，所述承载仓为一体加工的结构或者为上下可拆卸的配合结构。
7.根据权利要求1-2、4、6任一项所述的一种掺杂装置，其特征在于，所述导流仓为下端面开口设置的圆筒形结构，且其下端面为平整平面；
所述导流仓壁厚与所述承载仓壁厚相同。
8.根据权利要求7所述的一种掺杂装置，其特征在于，所述导流仓的上端面为平面结构。
9.根据权利要求7所述的一种掺杂装置，其特征在于，所述导流仓的上端面为倒锥形结构。
10.根据权利要求7所述的一种掺杂装置，其特征在于，所述导流仓的上端面靠近所述承载仓与所述导流仓的连接段一侧为倒锥形结构且其远离所述承载仓与所述导流仓的连接段一侧为平面结构。
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