[实用新型]一种电子元器件的制造设备有效

专利信息
申请号: 202121995995.1 申请日: 2021-08-23
公开(公告)号: CN215748288U 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 董加银 申请(专利权)人: 淮安永捷电子科技有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/22
代理公司: 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 代理人: 刘传玉
地址: 223300 江苏省淮安市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 电子元器件 制造 设备
【说明书】:

实用新型公开了一种电子元器件的制造设备,涉及磨边装置技术领域,目的在于提供一种晶圆片快速定位安装,加快磨边效率,提高磨边效果的电子元器件的制造设备,其技术要点是所述转动盘的顶面吸附固定晶圆片,且工作台顶部的一侧设有打磨机构,所述工作台的顶部通过连接座固定安装顶座,所述顶座的底部设有定位机构,所述定位机构用于对所述晶圆片的安装位置进行定位,技术效果是将晶圆片放置在定位框的内部,利用外部驱动部件带动双向螺杆转动,使得连接套带着活动板沿着双向螺杆的轴向移动,二者相互靠近时,带着晶圆片移动,最终,使得晶圆片的中心与转动盘的中心相对,完成晶圆片的快速定位,加快工作效率,还保证晶圆片的定位准确。

技术领域

本实用新型涉及磨边装置技术领域,具体为一种电子元器件的制造设备。

背景技术

晶圆片,是由硅锭加工而成的,通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管,被广泛应用于集成电路的制造,圆形的硅晶片在加工过程中需要使其保持一定的圆度,因此需要使用圆边机对其外边进行打磨。

现有的硅晶片圆边机不方便对硅晶片进行快速定位,影响晶片的打磨效率,甚至造成定位不准,影响晶片的打磨效果。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供一种晶圆片快速定位安装,加快磨边效率,提高磨边效果的电子元器件的制造设备。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种电子元器件的制造设备,包括工作台,所述工作台的顶部转动安装转动盘,所述工作台的内腔设置驱动电机驱动所述转动盘转动,所述转动盘的顶面吸附固定晶圆片,且工作台顶部的一侧设有打磨机构,所述打磨机构包括打磨机和驱动打磨机左右移动的驱动气缸,所述打磨机的输出轴通过连接件固定安装打磨件,所述打磨件用于对所述晶圆片的边缘打磨,所述工作台的顶部通过连接座固定安装顶座,所述顶座的底部设有定位机构,所述定位机构用于对所述晶圆片的安装位置进行定位;

所述定位机构包括L板,所述L板的顶部底面开设与其内腔连通的长条孔,所述L板的顶部内腔转动安装双向螺杆,所述双向螺杆的一端向外延伸通过驱动部件驱动运转,所述双向螺杆的两个螺纹段均螺纹套接连接套,两个所述连接套穿过所述长条孔向下延伸并固定安装活动板,所述L板和两个所述活动板形成定位框,所述驱动气缸驱动所述打磨机进出所述定位框。

优选地,所述打磨机和所述驱动气缸的活动端之间通过安装块固定连接,所述工作台的顶部还设有支撑机构,所述支撑机构包括固定座和支撑杆,所述固定座和支撑杆的数量均设有两个,且转动盘和打磨机构位于两个所述固定座之间,两个所述支撑杆穿过所述安装块并与所述固定座的侧壁固定连接。

优选地,所述转动盘的顶部设有吸盘,所述吸盘的数量设有多个,且吸盘位于所述晶圆片的下方均匀分布。

优选地,所述顶座的顶部设有电力气缸,所述电力气缸的活动端延伸至所述顶座的下方并固定安装施压件,所述施压件位于所述晶圆片的正上方。

优选地,所述施压件的底部设有橡胶层,所述橡胶层与所述晶圆片的顶面抵触,且施压件和橡胶层的大小与所述晶圆片的大小相适配。

(三)有益效果

与现有技术相比,本实用新型提供了一种电子元器件的制造设备,具备以下有益效果:

1、将晶圆片放置在定位框的内部,利用外部驱动部件带动双向螺杆转动,使得连接套带着活动板沿着双向螺杆的轴向移动,二者相互靠近时,带着晶圆片移动,最终,使得晶圆片的中心与转动盘的中心相对,完成晶圆片的快速定位,加快工作效率,还保证晶圆片的定位准确,提高对其磨边效果。

2、增加设置支撑机构,为安装块提供支撑力,降低驱动气缸所需承受力度,延长其使用寿命,增强安装块的稳定性,从而提高打磨件对晶圆片的打磨效果。

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