[实用新型]一种异型玻璃表面匀胶治具有效
申请号: | 202121992676.5 | 申请日: | 2021-08-23 |
公开(公告)号: | CN215612900U | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 黄海荣;谢柏弘;何若飞 | 申请(专利权)人: | 深圳远荣半导体设备有限公司 |
主分类号: | B05C13/02 | 分类号: | B05C13/02;B05C11/10 |
代理公司: | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人: | 周椿 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 异型 玻璃 表面 匀胶治具 | ||
本实用新型涉及玻璃涂胶领域,特别涉及一种异型玻璃表面匀胶治具。该治具包括治具第一面板、治具第二面板、匀胶凸台,治具第一面板上设有与异型玻璃形状匹配的匀胶槽,匀胶凸台连接在治具第二面板上,治具第二面板上设有用于排走剩胶的液体流道,液体流道设置于匀胶凸台的边沿,治具第一面板和治具第二面板连接,匀胶凸台位于匀胶槽内,匀胶凸台的上平面高度低于治具第一面板的上平面高度。本治具中剩胶由内部液体流道流入外接的清洗盆,玻璃边缘不易堆集剩胶,易于清洗,提高了产品质量;增加了手动取放的孔位,避免使用夹子损坏产品,提高产品合格率。
技术领域
本实用新型涉及玻璃涂胶领域,特别涉及一种异型玻璃表面匀胶治具。
背景技术
对玻璃进行匀胶是一种普遍的玻璃处理方式,特别是针对半导体硅片,在硅片表面均匀的涂上一层光刻胶,再进行曝光、显影,将光罩上的图形转移的光刻胶上,为后续的刻蚀、注入工艺服务。匀胶保证硅片表面光刻胶的平整度,以免影响到光刻的精度和质量。但是目前的匀胶器具主要是针对圆形的玻璃硅片设计的,针对异型玻璃硅片匀胶机构存在以下问题:
(1)无剩胶清洗剂流道,匀胶后多余的胶水没有流道可以排走,使剩胶容易堆集在玻璃边缘,不易清理,严重影响匀胶效果;
(2)无玻璃手动取放孔,用夹子取放玻璃,容易对产品造成损伤。
实用新型内容
本实用新型提供一种异型玻璃表面匀胶治具,旨在解决现有匀胶机构剩胶堆集,取放容易对产品造成损伤的问题。
本实用新型提供一种异型玻璃表面匀胶治具,包括治具第一面板、治具第二面板、匀胶凸台,所述治具第一面板上设有与异型玻璃形状匹配的匀胶槽,所述匀胶凸台连接在治具第二面板上,所述治具第二面板上设有用于排走剩胶的液体流道,所述液体流道设置于匀胶凸台的边沿,所述治具第一面板和治具第二面板连接,所述匀胶凸台位于匀胶槽内,所述匀胶凸台的上平面高度低于治具第一面板的上平面高度。
作为本实用新型的进一步改进,所述治具第一面板包括排液通孔,所述排液通孔与匀胶槽连通,所述排液通孔位于液体流道上方并连通液体流道。
作为本实用新型的进一步改进,所述治具第一面板包括手动取放孔,所述手动取放孔位于匀胶槽边沿并连通匀胶槽。
作为本实用新型的进一步改进,所述匀胶凸台内贯通设有真空流道,所述匀胶凸台通过真空流道外接抽真空装置。
作为本实用新型的进一步改进,所述匀胶凸台的外轮廓与异型玻璃形状轮廓匹配,所述治具第一面板和治具第二面板连接后,所述匀胶凸台的外轮廓边沿与匀胶槽的内壁间隔有缝隙。
作为本实用新型的进一步改进,所述液体流道包括主流道和支流道,所述支流道包围在匀胶凸台的外轮廓边沿,所述主流道一端连通支流道、其另一端连通治具第二面板的外壁并外接储液容器。
本实用新型的有益效果是:剩胶由内部液体流道流入外接的清洗盆,玻璃边缘不易堆集剩胶,易于清洗,提高了产品质量;增加了手动取放的孔位, 避免使用夹子损坏产品,提高产品合格率。
附图说明
图1是本实用新型一种异型玻璃表面匀胶治具的整体结构图;
图2是本实用新型一种异型玻璃表面匀胶治具的结构俯视图;
图3是本实用新型一种异型玻璃表面匀胶治具的结构仰视图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。
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