[实用新型]干式真空泵的吹扫系统

说明书

本申请属于真空泵技术领域，具体涉及干式真空泵的吹扫系统，包括用于提供压缩空气的气源、用于连通气源和干式真空泵的主管道和设于主管道上的电磁阀；电磁阀用于在所述真空泵运行时,控制压缩空气输送至所述干式真空泵中。本申请利用压缩空气吹扫干式抽真空泵，相较于利用惰性气体的传统吹扫方式，本申请能够降低使用成本。并且压缩空气中存在氧气，压缩空气能够使真空泵中的氧化物充分燃烧，从而减少泵内氧化物的堆积。电磁阀在干式真空泵运行时控制压缩空气输送到真空泵内部，压缩气体完成吹扫工作后，能够在干式真空泵自身的抽气作用下从排气口排出。在真空泵停止工作后，电磁阀阻止压缩空气进入到泵内，防止泵内有残留氧化物燃烧。

技术领域

本申请涉及真空泵技术领域，具体涉及干式真空泵的吹扫系统。

背景技术

抽真空设备在光伏行业中应用较为广泛，由于光伏产品在生产过程中对真空环境的要求较高，干式真空泵因其具有无油润滑和对气体中的灰尘和水蒸气不敏感等特性，逐步取代油泵成为单晶炉主要的抽真空设备。

干式抽真空泵在工作过程中需要通入氩气或氮气等惰性气体，以吹扫出泵内的氧化物，避免泵内的机械结构被氧化物卡死。

由于氩气或氮气等惰性气体的成本较高，亟待研发一种新型的干式真空泵的吹扫系统，使该吹扫系统能够在不影响使用的前提下，降低使用成本。

发明内容

针对上述问题，本申请提供了一种干式真空泵的吹扫系统，吹扫系统利用压缩空气代替氩气或氮气等惰性气体吹扫干式真空泵，能够降低使用成本，提高经济性能。

本申请的方案如下：

干式真空泵的吹扫系统，包括：

气源，用于提供压缩空气；

主管道，用于连通所述气源和干式真空泵；

电磁阀，设于所述主管道上，用于在所述真空泵运行时,控制压缩空气输送至所述干式真空泵中。

优选的，所述主管道在所述电磁阀的上游安装有控制开关。

优选的，所述主管道在所述电磁阀的下游设有调压装置。

优选的，所述主管道通过支管连通至所述干式真空泵，所述支管包括连接至泵腔入口的第一支管、连接至油封入口的第二支管和连接至排气口的第三支管。

优选的，所述第一支管、第二支管和第三支管上均设有止逆阀。

优选的，所述第一支管在所述止逆阀的上游安装有调节阀。

优选的，所述干式真空泵通过抽真空管道连接单晶炉。

优选的，所述电磁阀与所述干式真空泵采用并联的方式接入电路。

优选的，所述电磁阀与所述干式真空泵的启闭通过空气开关控制。

优选的，所述空气开关为双匹空开。

本申请通过采用压缩空气气源，并在连接气源和干式真空泵的主管道上设置能够在真空泵运行时使压缩空气进入真空泵、在真空泵停止工作时阻止压缩空气进入真空泵的电磁阀，从而实现利用压缩空气作为吹扫气体对干式真空泵进行吹扫。本申请利用压缩空气吹扫干式抽真空泵，相较于利用惰性气体的传统吹扫方式，本申请能够降低使用成本。并且压缩空气中存在氧气，压缩空气能够使真空泵中的氧化物充分燃烧，从而减少泵内氧化物的堆积。电磁阀在干式真空泵运行时控制压缩空气输送到真空泵内部，压缩气体完成吹扫工作后，能够在干式真空泵自身的抽气作用下从排气口排出。在真空泵停止工作后，电磁阀阻止压缩空气进入到泵内，防止泵内有残留氧化物燃烧。

附图说明

图1为本申请的气路示意图；

图2为吹扫系统主视方向的结构示意图；