[实用新型]一种真空镀膜机的观察窗有效

专利信息
申请号: 202121980841.5 申请日: 2021-08-23
公开(公告)号: CN215543044U 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 何清;郭琪;曹作川 申请(专利权)人: 成都金典真空设备有限责任公司
主分类号: B08B1/04 分类号: B08B1/04;B08B3/02;B08B13/00;C23C14/52
代理公司: 成都信捷同创知识产权代理事务所(普通合伙) 51323 代理人: 左正超
地址: 610100 四川省成都市龙泉*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 观察窗
【说明书】:

本实用新型提供一种真空镀膜机的观察窗,包括装配窗体;所述装配窗体主体为长方体结构,装配窗体外侧固定安装有定位载框,装配窗体底部固定安装有承载框,承载框主体截面形状为“L”形结构,装配窗体一侧底部开设有收纳载槽,承载箱框内侧固定安装有排放结构;装配载板,所述装配载板固定安装于承载箱框顶部一侧;调节载轴与装配轴凸之间配合,带动装配载筒进行位置调节,从而使清理辊对观察玻板进行挤压摩擦清理,以解决传统观察窗不具备内侧清理的功能,观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同,导致观察窗内侧容易附着雾气与污物,从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察,进而导致镀膜出现误差的问题。

技术领域

本实用新型属于工件加工辅助装置技术领域,更具体地说,特别涉及一种真空镀膜机的观察窗。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜,在持续密闭的镀膜过程时,观察窗容易附着雾气与污物,从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察。

如申请号为:CN201821022686.4的专利中,公开了一种真空镀膜机的观察基板窗口,包括镀膜机壳体和开设在镀膜机壳体上的第一圆型孔,第一圆型孔内嵌套有透明板,所述镀膜机壳体的一侧内壁上开设有滑槽,且滑槽位于透明板的上方,所述滑槽的上方设有开设在镀膜机壳体上的第一空腔,且第一空腔内固定安装有电机,所述电机的输出轴延伸至滑槽内并固定安装有丝杆,且丝杆的底端与滑槽的底部内壁转动安装,所述丝杆上螺纹套装有与滑槽侧壁滑动安装的移动座,且移动座的底部开设有矩型槽。本实用新型结构简单,能够有效地擦拭透明板上的气雾,使得人员能够清晰的通过透明板进行观察,且便于长久使用,有利于人员的使用。

基于上述,目前传统观察窗不具备内侧清理的功能,观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同,导致观察窗内侧容易附着雾气与污物,从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察,进而导致镀膜出现误差。

实用新型内容

为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种真空镀膜机的观察窗,以解决目前传统观察窗不具备内侧清理的功能,观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同,导致观察窗内侧容易附着雾气与污物,从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察,进而导致镀膜出现误差的问题。

本实用新型一种真空镀膜机的观察窗的目的与功效,由以下具体技术手段所达成:

一种真空镀膜机的观察窗,包括装配窗体;

所述装配窗体主体为长方体结构,装配窗体外侧固定安装有定位载框,装配窗体底部固定安装有承载框,承载框主体截面形状为“L”形结构,装配窗体一侧底部开设有收纳载槽,装配窗体内侧固定安装有清理机构;

承载箱框,所述承载箱框固定安装于收纳载槽内侧,承载箱框内侧固定安装有排放结构;

装配载板,所述装配载板固定安装于承载箱框顶部一侧。

进一步的,所述装配窗体包括:

装配开槽,装配开槽贯穿开设于装配窗体一侧;

观察玻板,观察玻板固定安装于装配开槽内侧;

控制面板,控制面板固定安装于装配窗体一侧底端。

进一步的,所述定位载框包括:

伺服电机,伺服电机固定安装于定位载框立面;

限位支件,限位支件固定安装于定位载框一侧;

传动连件,传动连件固定安装于伺服电机电机轴末端。

进一步的,所述承载框包括:

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