[实用新型]自动真空管道清洗机

说明书

本实用新型涉及一种自动真空管道清洗机，包括机箱、钢索和刷头，机箱的外侧安装有控制屏，机箱的内部安装有夹紧装置，夹紧装置用于夹紧疏通真空管道内污垢的钢索，夹紧装置的一侧设有推动夹紧装置夹紧钢索的第一推送装置，钢索的端部伸出机箱与刷头固定连接，机箱的内部通过安装板固定有驱动夹紧装置转动的电机，机箱的内腔底部设有驱动夹紧装置和第一推送装置来回运动的第二推送装置。本方案通过第一推送装置驱动夹紧装置将钢索夹紧，通过电机驱动钢索旋转进而带动刷头旋转，通过第二推送装置带动刷头来回运动清理污垢，对真空管道进行全自动清洁保养将结垢物清除，可以有效降低人力消耗与组装风险，且可以防止有害气体外泄。

技术领域

本实用新型涉及真空管道清理技术领域，尤其涉及一种用于自动清理的真空管道清洗机。

背景技术

芯片制程真空管道系统是由真空泵、芯片雕刻机、PLC过程控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、气体洗涤塔成等组成的成套真空系统。芯片制程时须添加各类所需化学气体，制程后段产生的有害尾气，借由该真空系统抽取至气体洗涤塔进行管理与处理废气。

真空管路所输送的酸气、硷气等物质,容易与管路表面层的微量元素如钙、镁、硅、铝、界面活性剂及有机物形成螯合，并持续附着于管路表面，产生碳酸系盐类结晶及有机化盐类金属等物质，使管道结垢、堵塞管道，造成压力不足，故须定期拆除保养。

真空管道现有安装技术为分段采卡箍，辅以高密度特氟隆垫片结合管道。现在的清洁方式为人工分段拆除清洁后组装还原，这种方式的工作效率低，更增加人为安装疏失导致有害气体外泄之风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动真空管道清洗机，以解决上述背景技术中遇到的问题。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种自动真空管道清洗机，包括机箱、钢索和刷头，所述机箱的外侧安装有控制屏，所述机箱的内部安装有夹紧装置，所述夹紧装置用于夹紧疏通真空管道内污垢的钢索，所述夹紧装置的一侧设有推动所述夹紧装置夹紧钢索的第一推送装置，所述钢索的端部伸出所述机箱与刷头固定连接，所述机箱的内部通过安装板固定有驱动所述夹紧装置转动的电机，所述机箱的内腔底部设有驱动所述夹紧装置和第一推送装置来回运动的第二推送装置。

上述方案中，所述安装板在机箱内竖直设置，所述夹紧装置安装在安装板上，所述夹紧装置包括连接板、转盘和定位盘，所述定位盘安装在安装板上，所述定位盘与电机传动连接，所述连接板与第一推送装置传动连接，所述转盘通过轴承座与连接板转动连接，所述转盘远离所述连接板的一侧铰接有夹持块，所述夹持块的夹爪通过第一推送装置的推送运动伸入所述定位盘的夹持部将钢索夹紧。

上述方案中，所述定位盘的内部转动连接有驱动块，所述驱动块的两侧开设有夹持部，夹持部内部通过压缩弹簧安装有用于夹紧钢索的顶头，所述夹持块的夹爪端部与顶头活动连接。

上述方案中，所述机箱的底部设有底板，所述第一推送装置安装在底板的顶部，所述安装板竖直安装在底板的端部，所述第二推送装置安装在底板的底部并与所述底板传动连接。

上述方案中，所述第二推送装置包括盒体、推缸和滑块，所述盒体安装在机箱的内腔底部，所述盒体的内部安装有推杆，所述推杆的端部与滑块的底部固定连接，所述推缸安装在盒体的外侧，所述推缸与推杆传动连接，所述盒体的两侧设有滑轨，所述滑块通过滑轨与盒体滑动连接。

进一步的，所述第一推送装置与第二推送装置结构相同。

上述方案中，所述控制屏安装在机箱的顶部，控制屏的旁边设有急停按钮，所述机箱的顶部远离钢索输送端的一侧安装有推手，所述机箱的底部四端设有万向轮。

上述方案中，所述机箱外侧在钢索输送处设有导向套，所述机箱的内侧设有钢索收纳区，机箱外侧在钢索输送处顶部安装有皮带保护罩，所述皮带保护罩内部安装有皮带，所述电机通过皮带与夹紧装置传动连接。