[实用新型]一种光刻胶涂覆装置

说明书

本实用新型提供一种光刻胶涂覆装置，涉及光刻胶覆涂领域。所述光刻胶涂覆装置包括：工作台，所述工作台的下端外表面连接有注胶筒；具有吸附固定功能的旋转机构，具有吸附固定功能的所述旋转机构与工作台连接，具有吸附固定功能的所述旋转机构包括转动轴杆，所述工作台的上端外表面转动连接有转动轴杆，所述转动轴杆的上端通过转盘固定连接有吸盘，转盘的下端外表面固定连接有橡胶包圈，所述吸盘的外表面固定连接有与其连通的安装筒，安装筒开设有内螺纹，安装筒内螺纹杆的一端固定连接有活塞，所述安装筒的外表面开设有两个对称设置的出气孔。本实用新型提供的光刻胶涂覆装置具有快速排气方便拿取加工材料的优点。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶覆涂领域，尤其涉及一种光刻胶涂覆装置。

背景技术

光刻胶又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体，光刻胶可以通过光化学反应，经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加工基片上。依据使用场景，这里的待加工基片可以是集成电路材料，显示面板材料或者印刷电路板。

涂覆装置在实际使用过程中，当加工材料完成涂覆作业后，无法快速将吸盘内的空气进行排放，需要工作人员用力抽拉加工材料才能将加工材料从吸盘上取下，用力过度容易造成加工材料的损坏，从而降低了装置的实用性。

因此，有必要提供一种新的光刻胶涂覆装置解决上述技术问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可以吸附模板的光刻胶涂覆装置。

本实用新型提供的光刻胶涂覆装置包括：工作台，所述工作台的下端外表面连接有注胶筒；具有吸附固定功能的旋转机构，具有吸附固定功能的所述旋转机构与工作台连接。

优选的，具有吸附固定功能的所述旋转机构包括转动轴杆，所述工作台的上端外表面转动连接有转动轴杆，所述转动轴杆的上端通过转盘固定连接有吸盘，转盘的下端外表面固定连接有橡胶包圈，所述吸盘的外表面固定连接有与其连通的安装筒，安装筒开设有内螺纹，内螺纹螺纹连接有螺纹杆，安装筒内螺纹杆的一端固定连接有活塞，所述安装筒的外表面开设有两个对称设置的出气孔。

优选的，具有吸附固定功能的所述旋转机构还包括驱动电机，所述工作台的下端外表面通过保护外壳固定连接有用于驱动转动轴杆的驱动电机，驱动电机的输出端与转动轴杆的下端转动连接。

优选的，所述具有吸附固定功能的所述旋转机构还包括橡胶防护垫，所述吸盘的外表面固定连接有橡胶防护垫，橡胶防护垫上设有贯穿的通孔。

优选的，所述工作台连接有防飞溅机构。

优选的，所述防飞溅机构包括保护罩，所述工作台的上端外表面设有上下贯穿的通槽，通槽内活动连接有保护罩，所述吸盘位于保护罩内，保护罩的下端外表面固定连接有两个对称设置的卡杆，工作台设有的通槽内开设有滑槽和旋转固定槽，卡杆与滑槽滑动连接，当转动保护罩时，卡杆与旋转固定槽互相卡接，所述保护罩内可拆卸连接有海绵垫。

优选的，所述防飞溅机构还包括弹性固定环，所述工作台的上表面固定连接有多个弹性固定环，海绵垫的下端与弹性固定环互相卡接，所述保护罩的上端内部固定连接有多个安装座，安装座内通过阻尼橡胶垫阻尼转动连接有直角杆，直角杆的外表面固定连接有弹簧，当转动直角杆至向下垂直时弹簧挤压海绵垫的上端外表面。

优选的，所述工作台的后端固定连接有用于收纳海绵垫的海绵收卷筒。

与相关技术相比较，本实用新型提供的光刻胶涂覆装置具有如下有益效果：

1、本实用新型提供一种光刻胶涂覆装置，在装置完成涂覆作业后，便于工作人员对吸盘内的空气进行快速排，通过转动螺纹杆将活塞移动，活塞与安装筒上的出气孔呈错位状，从而使得快空气可以顺着出气孔从吸盘内排出，从而便于工作人员拿取已经涂覆好光刻胶的加工材料，提高了涂覆装置的实用性。