[实用新型]一种精密研磨机设备

权利要求书

1.一种精密研磨机设备，其特征在于，包括：

固定设置于研磨机上方的吸盘调节装置，其包括三维移动滑台及受所述三维移动滑台驱动可沿着三相互垂直方向移动的手动微调平台；

设置于所述三维移动滑台和所述手动微调平台之间的转接板，所述转接板上部与所述三维移动滑台通过可升降调节的多个调节螺杆连接、下部连接所述手动微调平台；

与所述手动微调平台下部连接的吸盘组件；

以及与所述吸盘组件后端连接的基准定位组件。

2.如权利要求1所述的一种精密研磨机设备，其特征在于：所述研磨机固设于基准平台上，所述基准平台上设有龙门架，所述龙门架的横梁跨设于所述研磨机上方，所述吸盘调节装置挂设于所述横梁上。

3.如权利要求2所述的一种精密研磨机设备，其特征在于：所述龙门架的竖梁上设有喷水器，所述喷水器设有对着所述研磨机的研磨盘的喷嘴。

4.如权利要求2所述的一种精密研磨机设备，其特征在于：所述三维移动滑台上、下端分别设有上连接板和下连接板，所述上连接板与所述横梁固定连接，所述下连接板与所述调节螺杆上端固定连接，所述调节螺杆下端贯穿所述转接板并连接紧固螺母。

5.如权利要求4所述的一种精密研磨机设备，其特征在于：所述转接板上、下表面均设有一所述紧固螺母，且调节螺杆贯穿并螺纹连接两所述紧固螺母。

6.如权利要求3所述的一种精密研磨机设备，其特征在于：所述吸盘组件包括吸盘固定座和连接轴套，所述吸盘固定座与所述手动微调平台下端固定连接；所述吸盘固定座左、右端均设有吸盘安装孔、及横穿所述吸盘安装孔内壁的拧紧螺纹孔，所述连接轴套设置于每一所述吸盘安装孔内并通过一所述拧紧螺纹孔内的拧紧阀拧紧固定；每一所述拧紧阀的轴端与一所述拧紧螺纹孔螺纹连接。

7.如权利要求6所述的一种精密研磨机设备，其特征在于：每一所述连接轴套下端连接一吸盘，各所述吸盘直径不同，所述连接轴套上端通过管路与外部真空设备连接。

8.如权利要求6所述的一种精密研磨机设备，其特征在于：所述基准定位组件包括百分表和限位长板，所述百分表和所述限位长板通过固定安装板与所述吸盘固定座后端连接，所述百分表探针朝下设置于所述固定安装板的前表面，所述限位长板与所述横梁平齐设置于所述固定安装板的后表面，所述限位长板比所述横梁长且位于所述竖梁后方，形成限位功能。

9.如权利要求2所述的一种精密研磨机设备，其特征在于：所述基准平台底部设有脚板。