[实用新型]一种过滤装置及切割液供应设备

说明书

本实用新型公开一种过滤装置及切割液供应设备，涉及过滤技术领域，以解决采用人工清洗过滤装置费时费力且自动化程度低的问题。所述过滤装置用于切割液的过滤。上述过滤装置包括桶体、过滤件和冲洗件。桶体具有入口和出口，过滤件设置在桶体内，切割液流经过滤件后流向出口。冲洗件具有冲洗头，冲洗头至少位于由入口围合而成的区域内，冲洗头具有喷射区域，喷射区域覆盖过滤件。本实用新型还提供了一种切割液供应设备。该切割液供应设备包括供液罐，用于灌装切割液。过滤装置，与供液罐连通，用于过滤切割液。过滤装置为上述技术方案所述的过滤装置。热交换器，与过滤装置连通，用于切割液热循环，以及喷射管路，与热交换器连通，用于喷射切割液。

技术领域

本实用新型涉及过滤技术领域，尤其涉及一种过滤装置及切割液供应设备。

背景技术

在硅棒切割以获得硅片时，需要采用切割液供应设备向硅棒提供切割液。现有切割液供应设备一般包括依次连通的供液罐、过滤装置、热交换器和喷射管路。

其中，利用过滤装置过滤切割液中的杂质，以有效的避免具有杂质的切割液进入热交换器后污染热交换器。基于此，可以有效的解决具有杂质的切割液造成的硅片碎片的问题。

过滤装置在使用一段时间后，需要对过滤装置进行清洗，而现有技术提供的过滤装置的清洗方式为人工清洗，此时存在费时费力且自动化程度低的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种过滤装置及切割液供应设备，在实现自动清洗的情况下，提高自动化程度。

第一方面，本实用新型提供了一种过滤装置，用于切割液的过滤。上述过滤装置包括桶体、过滤件和冲洗件。桶体具有入口和出口，过滤件设置在桶体内，切割液流经过滤件后流向出口。冲洗件具有冲洗头，冲洗头至少位于由入口围合而成的区域内，冲洗头具有喷射区域，喷射区域覆盖过滤件。

与现有技术相比，本实用新型提供的过滤装置中，由于过滤件设置在桶体内，并且冲洗头至少位于由桶体具有的入口围合而成的区域内，冲洗头具有的喷射区域覆盖过滤件。基于此，当清洗过滤件时，可以直接利用冲洗头对过滤件进行清洗处理，进而减少或者避免了人工将过滤件从桶体内拆除之后在对过滤件进行清洗。当过滤件清洗完成之后，废液可以通过桶体具有的出口排出，不需要人工过多参与。综上所述，在本实用新型中，利用过滤装置自带的冲洗件便可实现对过滤件的清洗，不仅简单方便，易操作，同时还减少或避免了人工的参与，省时省力，提高了自动化程度。

在一种实现方式中，上述过滤件为面状过滤网，面状过滤网所具有的外边沿与桶体所具有的内壁紧固连接在一起。

采用上述技术方案的情况下，由于面状过滤网结构简单，易于制作，此时，可以节约过滤装置的制作成本。接着，当采用面状过滤网过滤切割液中的杂质时，切割液中的杂质可以大部分或全部存留在面状过滤网的过滤面上。又由于面状过滤网仅具有一个过滤面，基于此，当利用冲洗件清洗面状过滤网时，冲洗件可以集中清洗液，以用于清洗面状过滤网的一个过滤面，减少或消除杂质在面状过滤网上的残留，确保面状过滤网的清洁，进而确保过滤装置的清洁。进一步地，由于面状过滤网所具有的外边沿与桶体所具有的内壁紧固连接在一起，此时，可以确保所有待过滤的切割液均通过面状过滤网进入桶体内部，避免切割液从面状过滤网与桶体之间的缝隙中进入桶体内部，进而避免由于切割液过滤不完全污染热交换器。

在一种实现方式中，上述过滤件可以包括桶状过滤网和法兰沿，桶状过滤网的一端具有开口，开口与桶体所具有的入口的朝向一致。法兰沿设置在桶状过滤网靠近开口处，法兰沿与桶体紧固连接在一起。

采用上述技术方案的情况下，由于桶状过滤网具有至少两个过滤面，此时，可以加快桶状过滤网过滤切割液的速度，节省过滤时间。接着，由于法兰沿设置在桶状过滤网靠近开口处，法兰沿与桶体紧固连接在一起。此时，可以确保所有待过滤的切割液均通过桶状过滤网进入桶体内部，避免切割液从法兰沿与桶体之间的缝隙中进入桶体内部，进而避免由于切割液过滤不完全污染热交换器。