[实用新型]一种改造电子顺磁共振波谱仪用于动态检测缺陷的系统有效
| 申请号： | 202121859418.X | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN216484719U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 董帆;何烨;任琴;孙艳娟;盛剑平 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学长三角研究院（湖州） |
| 主分类号： | G01N24/10 | 分类号： | G01N24/10 |
| 代理公司： | 成都东恒知盛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51304 | 代理人： | 何健雄 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市西*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改造 电子顺磁共振 波谱 用于 动态 检测 缺陷 系统 | ||
1.一种改造电子顺磁共振波谱仪用于动态检测缺陷的系统，其特征在于，包括电子顺磁共振波谱仪、原位真空反应仓、气路单元、真空单元、光照单元、温控单元、混合瓶，所述电子顺磁共振波谱仪的检测腔体内部放置原位真空反应仓，所述气路单元通过管路连接混合瓶，所述混合瓶通过管路连接原位真空反应仓的进气口，所述真空单元通过管路连接原位真空反应仓的进气口，所述光照单元设置于电子顺磁共振波谱仪前端可拆卸窗口前面，所述温控单元通过管路连接电子顺磁共振波谱仪；
所述的原位真空反应仓包括石英反应管、连接部分、进气口管路、不锈钢管道、a阀门、b阀门、复合真空计，所述连接部分和不锈钢管道下端连接，所述连接部分的下端采用螺纹与石英反应管连接，所述进气口管路外壁和不锈钢管道、连接部分和石英反应管内壁形成排气管路，所述a阀门、b阀门、复合真空计与不锈钢管道连接；
所述的真空单元由二级泵组成，所述的二级泵包括机械泵和分子泵。
2.根据权利要求1所述的改造电子顺磁共振波谱仪用于动态检测缺陷的系统，其特征在于：所述石英反应管的外径为5-10mm，内径为4-9mm。
3.根据权利要求2所述的改造电子顺磁共振波谱仪用于动态检测缺陷的系统，其特征在于：所述石英反应管的长为90-110mm。
4.根据权利要求1所述的改造电子顺磁共振波谱仪用于动态检测缺陷的系统，其特征在于：所述连接部分的外径为20mm。
5.根据权利要求4所述的改造电子顺磁共振波谱仪用于动态检测缺陷的系统，其特征在于：所述连接部分的长为66mm。
6.根据权利要求1所述的改造电子顺磁共振波谱仪用于动态检测缺陷的系统，其特征在于：所述进气口管路的制备材质为聚甲醛。
7.根据权利要求6所述的改造电子顺磁共振波谱仪用于动态检测缺陷的系统，其特征在于：所述进气口管路的长为150-200mm。
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