[实用新型]一种高精度激光干涉仪有效

专利信息
申请号: 202121846406.3 申请日: 2021-08-09
公开(公告)号: CN215725721U 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 熊亮;张路平 申请(专利权)人: 广东谨诺科技有限公司
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02;G01B9/02
代理公司: 东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙) 44777 代理人: 邱登辉
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 高精度 激光 干涉仪
【权利要求书】:

1.一种高精度激光干涉仪,包括第一固定框(1)、水平调节机构和竖直调节机构,所述第一固定框(1)下端固定连接有用于对第一固定框(1)进行支撑的三角架(2),其特征在于,所述第一固定框(1)上端设置有支架(13),所述支架(13)内部设置有激光干涉仪本体(9);

所述水平调节机构设置在第一固定框(1)内部,用于对激光干涉仪本体(9)进行水平方向上的精准调节;

所述竖直调节机构设置在支架(13)侧壁上,用于对激光干涉仪本体(9)进行竖直方向上的精准调节。

2.根据权利要求1所述的一种高精度激光干涉仪,其特征在于,所述水平调节机构包括第一转动杆(11),所述第一转动杆(11)转动连接在第一固定框(1)底部中心位置,所述第一转动杆(11)上端竖直穿过第一固定框(1)顶部固定连接在支架(13)下端,所述第一固定框(1)内部的第一转动杆(11)侧壁上固定连接有第一蜗轮(12),所述第一蜗轮(12)侧壁上啮合有用于带动第一蜗轮(12)转动的第一蜗杆(3),所述第一蜗杆(3)远离激光干涉仪本体(9)输出端的一侧固定连接有便于工作人员转动第一蜗杆(3)的第一转动块(4),所述第一转动块(4)转动连接在第一固定框(1)侧壁上。

3.根据权利要求2所述的一种高精度激光干涉仪,其特征在于,所述竖直调节机构包括第二固定框(6),所述第二固定框(6)固定连接在支架(13)侧壁上,所述激光干涉仪本体(9)设置在第二固定框(6)与支架(13)之间,所述激光干涉仪本体(9)侧壁上固定连接有第二转动杆(8),所述第二转动杆(8)远离激光干涉仪本体(9)的一端转动连接在支架(13)和第二固定框(6)侧壁上,靠近第二固定框(6)一侧的第二转动杆(8)穿过第二固定框(6)侧壁固定连接有第二蜗轮(10),所述第二蜗轮(10)设置在第二固定框(6)内部,所述第二蜗轮(10)下端啮合有第二蜗杆(7),所述第二蜗杆(7)两端转动连接在第二固定框(6)侧壁上,所述第二蜗杆(7)其中一端固定连接有便于工作人员转动第二蜗杆(7)的第二转动块(5),所述第二转动块(5)转动连接在第二固定框(6)侧壁上。

4.根据权利要求1所述的一种高精度激光干涉仪,其特征在于,所述三角架(2)下端固定连接有用于提高三角架(2)摩擦力的橡胶套。

5.根据权利要求3所述的一种高精度激光干涉仪,其特征在于,所述第一转动块(4)和第二转动块(5)的侧壁上均固定连接有便于工作人员触摸转动第一转动块(4)和第二转动块(5)的凸块。

6.根据权利要求1所述的一种高精度激光干涉仪,其特征在于,所述三角架(2)的支腿内部固定连接有用于提高三角架(2)结构强度的加强筋。

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