[实用新型]一种用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置有效
| 申请号： | 202121842996.2 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN215481231U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 章嵩;涂溶;王传彬;张联盟;沈强;李志荣;李迎春 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学;广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/56;C23C14/06 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 官群;崔友明 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 长径 管材 内壁 镀膜 脉冲 激光 沉积 装置 | ||
1.一种用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置，其特征在于，所述装置以大长径比管材为脉冲激光沉积腔体，包括：
带有靶材(3)的靶座(10)；
用于支撑靶座的多根可伸缩支杆；
控制靶座沿大长径比管材轴心方向移动的传动装置；
用于大长径比管材两端密封的两个密封端，每个密封端设有两个石英窗口(8)；
与一个密封端连接的抽真空系统；
脉冲激光装置，用于从石英窗口射入激光至靶材表面。
2.根据权利要求1所述的用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置，其特征在于，所述靶座上靶材面向石英窗口，并且靶面与靶座的夹角可通过角度调节杆(11)进行调节。
3.根据权利要求2所述的用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置，其特征在于，所述靶面与靶座的夹角为10～80°。
4.根据权利要求1所述的用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置，其特征在于，所述靶座上靶材的数量为1～4个，脉冲激光装置数量与靶材数量相适。
5.根据权利要求1所述的用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置，其特征在于，所述靶座上安装有4个可伸缩支杆，可伸缩支杆一端固定在靶座上，一端安装有可沿大长径比管材内壁移动的耐高温绝缘轮子(15)。
6.根据权利要求1所述的用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置，其特征在于，所述传动装置包括安装在大长径比管材轴线上的传动带(12)，以及控制传动带沿大长径比管材轴线水平移动的传动电机(14)。
7.根据权利要求1所述的用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置，其特征在于，包括感应线圈。
8.根据权利要求1所述的用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置，其特征在于，所述大长径比管材一侧密封端上设有进气口(6)。
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