[实用新型]一种无需变压器的管式加热炉体

说明书

本实用新型涉及管式加热炉领域，具体公开了一种无需变压器的管式加热炉体，包括管式加热炉体，所述管式加热炉体的外表面设置有加热炉外壳，所述加热炉外壳的内侧壁安装有保温层，所述保温层的内部设置有陶瓷块组，所述陶瓷块组的内部安装有加热丝组，所述陶瓷块组与所述加热丝组之间连接有背丝，所述加热丝组的外表面位于所述加热炉外壳的外侧连接有接线柱。通过将加热丝组分成多段组装式设置，在每段相邻的加热丝之间设置有等距的预留槽，从而可以实现利用每段加热丝分别独立的外接电源，能多点控温，又能省去变压器，为设备节省了大量的的内部空间，并降低了整台设备的造价，并且降低了安装调试过程中的工作量。

技术领域

本实用新型涉及管式加热炉领域，具体是一种无需变压器的管式加热炉体。

背景技术

在半导体晶圆制造，光伏电池片的镀膜、扩散、氧化，金属材料的退火等工艺，在半导体晶圆生产中，进行镀膜、扩散、氧化、退火工艺的设备中的管式加热炉体通常层叠安装，每台设备会层叠加多根管式加热炉，通常管式加热炉体的发热体部分普遍采用一整根电热丝绕制成型，每一根加热炉体正常工作时都需要通过一台额外的变压器来控制调节每一段温区的电压，从而使每个温度能够独立控温运行。

但是，多层叠放的加热炉体需要配备相同数量的变压器，大量的变压器占据了整机设备中的内部空间，并提高了整台设备的造价，并且增加了安装调试过程中的工作量，连接变压器与加热炉也需要大量的线缆，成本高且不美观。

实用新型内容

针对现有的问题，本实用新型提供一种无需变压器的管式加热炉体，该装置组件包括加热丝组、陶瓷块组、预留槽等配合使用可以有效的解决背景技术中提出的问题。

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种无需变压器的管式加热炉体，包括管式加热炉体，所述管式加热炉体的外表面设置有加热炉外壳，所述加热炉外壳的内侧壁安装有保温层，所述保温层的内部设置有陶瓷块组，所述陶瓷块组的内部安装有加热丝组，所述陶瓷块组与所述加热丝组之间连接有背丝，所述加热丝组的外表面位于所述加热炉外壳的外侧连接有接线柱。

作为本实用新型再进一步的方案：所述加热丝组的两端位于所述加热炉外壳的内侧壁设置有端口保温圈。

作为本实用新型再进一步的方案：所述加热丝组由多组加热丝构成，所述加热丝组与所述背丝具有相同的热膨胀系数。

作为本实用新型再进一步的方案：所述保温层为硅酸铝纤维材质构件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述端口保温圈为硬性定型硅酸铝纤维材质构件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述接线柱与所述加热丝组通过焊接固定，所述接线柱与所述加热炉外壳贯通连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述陶瓷块组与所述加热丝组卡接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过将加热丝组分成多段组装式设置，在每段相邻的加热丝之间设置有等距的预留槽，从而可以实现利用每段加热丝分别独立的外接电源，能多点控温，又能省去变压器，为设备节省了大量的的内部空间，并降低了整台设备的造价，并且降低了安装调试过程中的工作量。

2、硅酸铝纤维材质的保温层，具有优良的隔热效果、优越的热稳定性等，可以保证管式加热炉体内部的工艺温度不会很快散失，并让加热炉外壳保持一个相对较低的温度。

3、背丝的材质与加热丝具有同等的热膨胀系数，在正常生产的工艺温度下能维持一定的刚性，保证加热丝组在通电加热时保证一定的尺寸，不会出现加热丝和陶瓷块组脱落的情况发生。

附图说明

图1为一种无需变压器的管式加热炉体的结构示意图；