[实用新型]一种高稳定性的MEMS谐振器

权利要求书

1.一种高稳定性的MEMS谐振器，包括振动主体、基座、锚结构和支撑结构，所述锚结构固定在所述基座上并通过所述支撑结构与所述振动主体连接，使得所述振动主体悬空；

其特征在于，所述振动主体是由第一形状的外轮廓和第二形状的内轮廓限定的环状结构；所述第一形状的中心点到所述第一形状的外轮廓上各边缘点的距离与对应方向上弹性波传播速度在所述振动主体材料中的大小成相同的比例；所述锚结构设置在第一形状的中心点，所述支撑结构对称设置在所述锚结构和所述振动主体之间。

2.根据权利要求1所述的高稳定性的MEMS谐振器，其特征在于，所述第二形状的中心点到所述第二形状的内轮廓上各边缘点的距离与对应方向上弹性波传播速度在所述振动主体材料中的大小成相同的比例。

3.根据权利要求1或2所述的高稳定性的MEMS谐振器，其特征在于，所述弹性波传播速度为声速。

4.根据权利要求3所述的高稳定性的MEMS谐振器，其特征在于，所述声速为声波的准纵波波速。

5.根据权利要求3所述的高稳定性的MEMS谐振器，其特征在于，所述声速为声波的准快横波波速或准慢横波波速。

6.根据权利要求1所述的高稳定性的MEMS谐振器，其特征在于，所述振动主体各方向上的径向长度为对应方向上所述振动主体材料中的弹性波波长的一半。

7.根据权利要求1所述的高稳定性的MEMS谐振器，其特征在于，所述MEMS谐振器还包括输入电极和输出电极，所述振动主体悬挂于所述基座上并处于所述输入电极和所述输出电极之间。

8.根据权利要求7所述的高稳定性的MEMS谐振器，其特征在于，所述输入电极和所述输出电极与所述振动主体的边缘形成激励间隙，在所述振动主体边缘的每一点处垂直方向上的所述激励间隙宽度相等。

9.根据权利要求1所述的高稳定性的MEMS谐振器，其特征在于，所述支撑结构包括支撑梁和弹性支撑部件。

10.根据权利要求9所述的高稳定性的MEMS谐振器，其特征在于，所述支撑梁的形状包括直线形和弧形。