[实用新型]一种涡轮分子泵

权利要求书

1.一种涡轮分子泵，其特征在于，包括：

泵壳(1)；

至少四个轮毂(2)，至少四个所述轮毂(2)可转动地设置于所述泵壳(1)内；

至少四级叶轮组(4)，所述叶轮组(4)包括动叶轮(41)和静叶轮(42)，至少四级所述叶轮组(4)的所述动叶轮(41)一一对应地设置于至少四个所述轮毂(2)上，所述静叶轮(42)固设于所述泵壳(1)内，且沿气流方向，所述动叶轮(41)与所述静叶轮(42)交替设置；所述动叶轮(41)包括多个动叶片(411)，所述动叶片(411)为机翼形叶片，且所述轮毂(2)的外径与对应的所述动叶轮(41)的外径之比的范围为0.4-0.7；单级所述叶轮组(4)的压缩比范围为1.4-2；

驱动件(3)，用于驱动至少四个所述轮毂(2)同步旋转。

2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，由所述动叶片(411)的叶根向叶顶方向，同一所述叶轮组(4)中的所述静叶轮(42)与所述动叶轮(41)之间的间距依次增大。

3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，至少四个所述轮毂(2)设置于同一转轴上，所述转轴与所述驱动件(3)连接。

4.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述涡轮分子泵还包括整流罩(5)，所述整流罩(5)设置于所述泵壳(1)的气流入口处。

5.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述涡轮分子泵还包括扩压器(6)，所述扩压器(6)设置于所述泵壳(1)的气流出口处。

6.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，单级所述叶轮组(4)的压缩比范围为1.4-1.6。

7.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述静叶轮(42)包括多个静叶片(421)，所述静叶片(421)为弧面板形结构。

8.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述动叶片(411)上设有连接结构(4111)，所述连接结构(4111)与对应的所述轮毂(2)固定连接。

9.根据权利要求1-8任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，沿气流方向，至少四级所述叶轮组(4)的所述动叶轮(41)的所述动叶片(411)的安装角相同，至少四级所述叶轮组(4)的所述动叶轮(41)的外径逐级减小。

10.根据权利要求1-8任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，沿气流方向，至少四级所述叶轮组(4)的所述动叶轮(41)的所述动叶片(411)的安装角逐级减小，且至少四级所述叶轮组(4)的所述动叶轮(41)的内径相同或逐级增大，所述动叶轮(41)的外径相同。