[实用新型]一种半自动硅棒检测装置有效
申请号: | 202121770741.X | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN216072022U | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 周丽佳;吴张琪;裴忠;朱勤超;梁文 | 申请(专利权)人: | 天通日进精密技术有限公司 |
主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90;B65G47/57;B65G15/60 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 金亚丁 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半自动 检测 装置 | ||
本实用新型公开的一种半自动硅棒检测装置,包括第一输送机构、第二输送机构、夹取机构、升降机构、防护架以及探测灯组,通过防护架的结构对夹取机构以及升降机构进行防护,由机械手或者桁架将待检测的硅棒从缓存区搬运至第一输送机构,有第一输送机构将硅棒向内运输至夹取机构的位置,并由夹取机构将第一输送机构内的硅棒进行夹持,然后通过升降机构将夹取机构提升至第二输送机构的位置,人工配合探测灯组对硅棒进行检测,检测完成之后,由第二输送机构将夹取机构内的检查完成的硅棒进行向外的输送,并由机械手或者桁架将检测完成的硅棒搬运至输送线上进行后续操作。本实用新型采用双层结构,配合机械手或者桁架的结构对硅棒进行搬运,提高工作效率。
技术领域
本实用新型涉及硅棒检测技术领域,尤其是涉及一种半自动的硅棒检测装置。
背景技术
晶体硅为钢灰色,无定形硅为黑色,属于原子晶体,硬而有光泽,有半导体性质,单晶硅是一种重要的半导体材料,用于制造大功率晶体管、整流器、太阳能电池等,拉单晶做成硅棒,其中将硅料在单晶炉在太阳能级单晶硅的生产工艺中以直拉炉较常见中融化后再经过一系列工序可生长成单晶硅棒子,对单晶硅棒子进行后续机加工,得到单晶硅锭,再使用切片机器对硅锭进行切片加工,则得到硅片。在各工序中,硅棒的检验是一项重要的工序,对硅棒的质量把控起到关键的作用。
硅棒的检验包括直径检测、长度检测、重量检测、斜度检测、电阻率检测、导电型号检测、外观检测等。目前,硅棒的检测仍以人工方式检测为主,检测过程中需要人工进行搬运,检测效率较低,且人力浪费严重,难以满足需求。
实用新型内容
本实用新型是为了避免现有技术存在的不足之处,提供了一种半自动的硅棒检测装置,提高检测效率,同时减少人力资源的需求。
本实用新型解决技术问题采用如下技术方案:
本实用新型提供的一种半自动硅棒检测装置,包括:第一输送机构,所述第一输送机构包括第一支撑架、第一滑动组件以及第一承载组件,所述第一滑动组件设置在第一支撑架上,所述第一承载组件设置在第一滑动组件上,所述第一承载组件用以容纳硅棒,所述第一滑动组件带动第一承载组件进行水平的往复运动;第二输送机构,所述第二输送机构设置在第一输送机构的上方,所述第二输送机构包括第二支撑架、第二滑动组件以及第二承载组件,所述第二滑动组件设置在第二支撑架上,所述第二承载组件设置在第二滑动组件上,所述第二承载组件用以容纳硅棒,所述第二滑动组件带动第二承载组件进行水平的往复运动;夹取机构,所述夹取机构设置在第一输送机构与第二输送机构的同一侧,所述夹取机构包括支撑座、驱动组件以及夹取组件,所述驱动组件与支撑座相连接,所述夹取组件设置在驱动组件上,所述驱动组件可带动夹取组件做出向内夹紧硅棒、向外松开硅棒以及旋转硅棒的运动,升降机构,所述升降机构与支撑座相连接,所述升降机构包括第三支撑架以及设置在第三支撑架上的升降组件,所述升降组件带动夹取机构在第一输送机构与第二输送机构之间进行纵向的往复运动,并以此将第一输送机构内的硅棒运送至第二输送机构或者将第二输送机构内的硅棒运送至第一输送机构。
由上述记载的第一输送机构进行上料或者卸料,由夹取机构将第一输送机构内的硅棒进行夹取,由升降机构带动夹取机构将第一输送机构中的硅棒运送至第二输送机构上或者将第二输送机构中的硅棒运送至第一输送机构并通过探测灯组进行表面检测。
在数个实施方式中,在上述记载的第一滑动组件、第二滑动组件均包括气缸组件以及直线滑轨,所述气缸组件设置在两个直线滑轨之间,由所述气缸组件带动相应的第一承载组件、第二承载组件在直线滑轨上进行直线的往复运动。
在数个实施方式中,第一承载组件与第二承载组件均包括托盘体、输送带以及导向辊组,所述导向辊组可转动的设置在托盘体内,所述输送带套设在导向辊组上可沿随导向辊组转动。
由上述记载的第一承载组件与第二承载组件对硅棒进行承载运输。
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