[实用新型]一种单晶炉加料系统

权利要求书

1.一种单晶炉加料系统，其特征在于，所述单晶炉加料系统包括加料装置以及熔料导料装置；所述熔料导料装置包括熔料部以及导料部；

所述加料装置的出料口与所述熔料部的入料口相对设置，用于将原料加入所述熔料部中，所述熔料部用于对所述原料进行熔融，得到熔料；所述熔料部的出料口与所述导料部的入料口相对设置，用于向所述导料部提供所述熔料，所述导料部的出料口伸入所述单晶炉中，用于将所述熔料导入所述单晶炉的坩埚中。

2.根据权利要求1所述的单晶炉加料系统，其特征在于，所述熔料部包括熔料件和第一加热件，所述第一加热件用于对所述熔料件中的原料进行加热熔融；

所述熔料件的入料口与所述加料装置的出料口相对设置，所述熔料件的出料口与所述导料部的入料口相对设置。

3.根据权利要求2所述的单晶炉加料系统，其特征在于，所述熔料件的出料口位于所述熔料件的底部或侧壁。

4.根据权利要求1所述的单晶炉加料系统，其特征在于，所述导料部包括导料件以及设置在所述导料件上的第二加热件；

所述导料件的入料口与所述熔料部的出料口相对设置，所述导料件的出料口伸入单晶炉中。

5.根据权利要求4所述的单晶炉加料系统，其特征在于，所述第二加热件为电磁感应加热件；

或，所述第二加热件为电磁感应加热线圈，所述导料件为导料管，所述加热线圈环绕设置在所述导料管的外周。

6.根据权利要求4所述的单晶炉加料系统，其特征在于，沿所述导料件的入料口至所述导料件的出料口的方向，所述导料件相对所述坩埚的高度逐渐降低。

7.根据权利要求4所述的单晶炉加料系统，其特征在于，所述导料件的入料口的切面与所述导料件的轴向横截面之间的夹角大于15°，小于60°。

8.根据权利要求1-7任一项所述的单晶炉加料系统，其特征在于，所述加料装置的出料口高度高于所述熔料部的入料口高度；

所述熔料部的出料口高度高于所述导料部的入料口高度；

所述导料部的出料口高度高于所述单晶炉的坩埚的开口高度。

9.根据权利要求1-7任一项所述的单晶炉加料系统，其特征在于，所述熔料导料装置还包括壳体，所述熔料部固定于所述壳体内，所述导料部通过支撑件固定在所述壳体中，且所述导料部的入料口位于所述壳体内，所述导料部的出料口通过所述壳体后，伸入所述单晶炉中。

10.根据权利要求9所述的单晶炉加料系统，其特征在于，所述熔料导料装置还包括隔热件，所述隔热件设置在所述熔料部和所述导料部的外周与所述壳体的内壁之间。

11.根据权利要求1-7任一项所述的单晶炉加料系统，其特征在于，所述原料包括固态原料，所述加料装置包括加料部；

所述加料部的入料口用于接收所述固态原料，所述加料部的出料口与所述熔料部相对设置，用于向所述熔料部提供所述固态原料；

所述加料部的出料口高度高于所述熔料部的顶部高度。

12.根据权利要求11所述的单晶炉加料系统，其特征在于，所述单晶炉加料系统还包括控制器；

所述加料装置还包括原料供应部以及震动加料器；

所述原料供应部的出料口与所述加料部的入料端相对设置，用于向所述加料部提供所述固态原料；

所述震动加料器与所述加料部相连接，用于向所述加料部提供震动力，以使所述加料部中预设质量的固态原料进入所述熔料部中；

所述震动加料器还与所述控制器通信连接，用于向所述控制器提供震动参数，所述控制器用于根据所述震动参数，控制所述熔料部中第一加热件的加热参数。

13.根据权利要求12所述的单晶炉加料系统，其特征在于，所述震动加料器设置在所述加料部远离所述熔料部的一端。