[实用新型]夹持装置及光源设备

说明书

本实用新型提供了一种夹持装置及光源设备，用于夹持一灯具的灯头部，包括底座、夹持座及夹持件，所述夹持座及所述夹持件沿X向相对设置于所述底座上；所述夹持座沿Z向开设有贯穿的第一凹槽，所述灯头部设置于所述夹持座与所述夹持件之间，所述夹持件能够在所述底座上沿X向运动以使所述灯头部的至少部分进入所述第一凹槽内并夹紧所述灯头部，且所述灯头部进入所述第一凹槽内的外壁与所述第一凹槽的内壁部分接触。本实用新型提高了夹持装置的定位精度、导电性能及散热性能。

技术领域

本实用新型涉及光源技术领域，尤其涉及一种夹持装置及光源设备。

背景技术

在光刻机中，光源设备中的灯具的位置会直接影响曝光性能，一般采用夹持装置将灯具固定进行定位，夹持装置需要保证高定位精度；并且由于灯具需要定期更换，例如汞灯的寿命通常为3个月左右，同需要定期更换，因此要求夹持装置需要保证高重复定位精度。由于夹持装置需要与灯具进行电连接，一般灯具的工作功率及工作电流较高，为了保证通电电流的稳定性和可靠性，因此要求夹持装置具有足够好的通电连接部；从安全上考虑，灯具的工作功率较高，在灯具上积累的热量会较大，而灯具具有极限温度，超过此极限温度会损坏灯具，因此要求夹持装置具有较好的冷却能力，以及还会要求夹持装置的使用便捷性。

图1为夹持装置的结构示意图。请参考图1，夹持座11完全将灯具12的灯头部包围起来，以将灯具12固定于夹持座11上，这种夹持装置虽然导电性能较好，但是散热性能较差。

图2为夹持装置的结构示意图。请参考图2，夹持座21将与灯具22的灯头部一端的引脚包围起来，可以通过此引脚进行电连接，这种夹持装置虽然可以通过灯头部较好的散热，但是由于一般灯具引脚较短，会导致导电性能较差。

在图1和图2中的夹持座的夹持面一般为圆弧形，灯具的灯头部为圆柱形，利用夹持面夹持灯具的灯头部，受制造工艺影响夹持座的夹持面可能会凹凸不平，不可能绝对圆滑，而在光学系统中灯具位置直接会影响光学性能且灵敏度很高，要求夹持装置具有高定位精度，而受夹持面影响，在夹持灯具时可能会存在夹持位置偏差，导致夹持装置的定位精度降低，并且受夹持面影响，每次夹持灯具时，可能夹持位置会存在细微的差异，无法保证重复定位精度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种夹持装置及光源设备，以提高夹持装置的定位精度、导电性能及散热性能。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种夹持装置，用于夹持一灯具的灯头部，包括底座、夹持座及夹持件，所述夹持座及所述夹持件沿X向相对设置于所述底座上；

所述夹持座沿Z向开设有贯穿的第一凹槽，所述灯头部设置于所述夹持座与所述夹持件之间，所述夹持件能够在所述底座上沿X向运动以使所述灯头部的至少部分进入所述第一凹槽内并夹紧所述灯头部，且所述灯头部进入所述第一凹槽内的外壁与所述第一凹槽的内壁部分接触。

可选的，所述灯头部进入所述第一凹槽内的外壁与所述第一凹槽的内壁线接触。

可选的，所述灯头部为圆柱形，所述第一凹槽为V字型，所述灯头部的外壁与所述第一凹槽的内壁相切。

可选的，所述灯头部为圆柱形，所述第一凹槽为圆弧型，在所述第一凹槽的内壁上设有若干沿Z向延伸的凸棱，所述灯头部的外壁与所述凸棱的顶部接触。

可选的，所述灯头部为圆柱形，所述第一凹槽的侧壁具有延伸部，所述延伸部自所述第一凹槽的侧壁凸起且具有向内凹陷的弧面，所述灯头部的外壁与所述延伸部的弧面贴合。

可选的，所述夹持件包括：

固定板，固定在所述底座上；

夹持本体，一端具有与所述灯头部接触的夹持面，另一端穿过所述固定板；

旋钮，与所述夹持本体的另一端连接，通过旋转所述旋钮以使所述夹持本体沿X向运动。