[实用新型]一种具有排积液效果的MO源钢瓶

说明书

本实用新型公开了一种具有排积液效果的MO源钢瓶，包括具有钢瓶内腔的钢瓶本体，钢瓶本体一侧固定安装有出液管，其中，出液管的出液端口与钢瓶内腔连通，且钢瓶本体底部设有与出液端口连通的排积液沉孔；本实用新型可以明显改善MO源钢瓶的积液问题，有效地将钢瓶内腔的废液排出，明显降低了钢瓶内腔的残存积液对重复充装MO源钢瓶的影响，最终有效提高了供应MO源的纯度。

技术领域

本实用新型属于MO源封装容器技术领域，具体涉及了一种具有排积液效果的MO源钢瓶。

背景技术

液态MO源作为一种应用于制备金属氧化物薄膜，它能很好地避免多源输送面临的复杂性问题。其方法是将各种MO源（比如液态镁源、液态铟源、电子级三甲基铝、液态膦源等）溶入有机溶剂，得到良好的MO源混合溶液并注入MO源钢瓶内，然后通过向MO源钢瓶的混合溶液内注入惰性气体得到气态MO源蒸汽，再经过流量控制送入反应室，这种方法的优点是简化了MO源输送方式，对MO源物料的要求降低，便于实现多种薄膜的交替沉积以获得超晶格结构。

由于MO源混合溶液在使用一段时间后MO源会消耗殆尽，因此需要将其废液排出MO源钢瓶。然而申请人通过研究发现，由于常规的出液管安装在MO源钢瓶的侧壁，出液管的出液口位置高于钢瓶内腔的底部，因此，位于钢瓶内腔的底部上方和出液管的出液口下方的积液无法通过出液管排出，MO源钢瓶容易产生积液，由于积液的存在，在重复充装时MO源混合溶液时，之前的废液和新的MO源混合溶液一起混合，最终会导致MO源的纯度降低，影响MO源的供应质量。

因此，本申请人希望通过对MO源钢瓶自身结构进行创造性设计来解决上述技术问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种具有排积液效果的MO源钢瓶，可以明显改善MO源钢瓶的积液问题，有效地将钢瓶内腔的废液排出，明显降低了钢瓶内腔的残存积液对重复充装MO源钢瓶的影响，最终有效提高了本实用新型MO源钢瓶供应MO源的纯度。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种具有排积液效果的MO源钢瓶，包括具有钢瓶内腔的钢瓶本体，所述钢瓶本体一侧固定安装有出液管，其中，所述出液管的出液端口与所述钢瓶内腔连通，且钢瓶本体底部设有与所述出液端口连通的排积液沉孔。

优选地，所述排积液沉孔的深度不大于所述钢瓶本体底部的1/2厚度。

优选地，所述出液端口的底部与所述排积液沉孔的底部呈平齐状，且所述出液端口的顶部位于所述钢瓶本体底部的上方。

优选地，所述钢瓶本体的一侧设有用于密封安装所述出液管的出液管安装孔。

优选地，所述钢瓶本体的另一侧设有备用管，所述备用管的备用端口位于所述钢瓶本体底部的上方。

优选地，所述备用端口与所述钢瓶本体底部之间具有间距，该间距的范围为3-12mm。

优选地，所述出液管的内径范围为4-10mm，且其壁厚范围为1-3mm。

优选地，所述出液管通过满焊焊接工艺固定安装在所述钢瓶本体上，且所述出液管安装有接头，用于和外部管路快速连接。

优选地，所述钢瓶本体的上端部分别安装有液位计和压力计，分别用于监测所述钢瓶内腔的液体液位和压力。

优选地，所述钢瓶本体的上端部分别安装有惰性气体进气管以及MO源蒸汽出气管。