[实用新型]一种晶圆瑕疵观测设备

权利要求书

1.一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：包括支架（100）、传输架（200）、传输框（300）和图像识别装置（400），所述支架（100）的顶部通过螺栓固定连接顶部携带所述传输框（300）的所述传输架（200），所述支架（100）的内腔顶部通过螺栓固定连接所述图像识别装置（400），所述支架（100）的内腔底部通过螺丝固定有脚踏（110），所述支架（100）的内腔顶部通过法兰连接有弯管（120），所述弯管（120）的底部通过法兰连接有抽取泵（130），所述抽取泵（130）的电性输入端电性连接所述脚踏（110），所述支架（100）的侧壁通过螺丝固定连接有抽取仓（140），所述抽取仓（140）的输入端通过法兰连接所述弯管（120），所述传输架（200）的内侧通过销轴连接有滚轮（210），所述滚轮（210）的圆周外壁套接有传输带（220），所述滚轮（210）的输入端通过联轴器连接有驱动器（230），所述传输带（220）的顶部通过螺丝固定连接所述传输框（300），所述图像识别装置（400）的电性输入端电性连接有摄像头（410），所述图像识别装置（400）的内腔通过螺丝固定连接有控制器（420）和PLC（426），所述控制器（420）的内部电性串联有灰度化模块（421）、削弱背景干扰模块（422）、中值滤波模块（423）、区域裁剪模块（424）和图库比对模块（425），所述脚踏（110）和所述图库比对模块（425）的电性输出端电性连接所述PLC（426）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：所述抽取仓（140）的前侧壁通过螺丝固定连接有密封板（150），所述抽取仓（140）的前侧壁开设有卸料口（160），所述卸料口（160）的前侧壁通过铰链活动连接有翻盖。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：所述传输架（200）的侧壁通过螺丝固定连接有延伸架，所述延伸架的顶部粘接有橡胶板。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：所述传输框（300）的顶部通过螺丝固定连接有侧板（310），所述传输框（300）的顶部粘接有配合盘（320）。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：所述配合盘（320）的顶部一体成型预留有圆槽（330），所述圆槽（330）的形状与晶圆的形状相匹配。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：所述脚踏（110）的顶部粘接有防滑板，所述防滑板的顶部一体成型连接有斜纹。