[实用新型]一种再生晶圆的粗抛光设备有效
| 申请号： | 202121737676.0 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN215357898U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 徐炎华 | 申请（专利权）人： | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 谭雪婷;王建成 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 再生 抛光 设备 | ||
1.一种再生晶圆的粗抛光设备，其特征在于，包括：抛光机、储液容器、硅溶胶容器、螯合剂容器和PH容器，所述硅溶胶容器通过第一计量泵与所述储液容器连接，所述螯合剂容器通过第二计量泵与所述储液容器连接，所述PH容器通过第三计量泵与所述储液容器连接，所述储液容器内设置有在线PH计和在线电导率计；所述在线PH计与所述第三计量泵控制连接，所述在线电导率计与所述第二计量泵控制连接；所述抛光机的进液端通过第四计量泵与所述储液容器连接，所述抛光机的储液端与所述储液容器连通。
2.如权利要求1所述的再生晶圆的粗抛光设备，其特征在于，所述抛光机的进液端与所述第四计量泵之间连接有过滤器。
3.如权利要求1所述的再生晶圆的粗抛光设备，其特征在于，所述储液容器内设置有搅拌装置。
4.如权利要求2所述的再生晶圆的粗抛光设备，其特征在于，所述抛光机包括托盘、抛光垫、抛光机头、陶瓷盘以及出液管，所述出液管与所述过滤器连接，所述托盘的出液端与所述储液容器连接，所述抛光垫设置在所述托盘上，所述抛光机头可升降地设置在所述托盘上方，所述陶瓷盘设置在所述抛光机头的底部，所述出液管设置在所述抛光机头的侧方且位于所述托盘的正上方。
5.如权利要求4所述的再生晶圆的粗抛光设备，其特征在于，所述出液管的端部设置有喷洒头。
6.如权利要求4或5所述的再生晶圆的粗抛光设备，其特征在于，所述抛光垫为无纺布材质。
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