[实用新型]一种光电材料与器件表征系统有效
| 申请号: | 202121734012.9 | 申请日: | 2021-07-28 |
| 公开(公告)号: | CN215931623U | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
| 发明(设计)人: | 李广如 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N17/00 | 分类号: | G01N17/00;G01N21/01;G01N21/84;G01R31/26 |
| 代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 崔家源;范继晨 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光电 材料 器件 表征 系统 | ||
本公开实施例提供了一种光电材料与器件表征系统,包括:激光发射组件,用于发射预定波长的光,预定波长的光用于作为老化光和探测光;第一光传导器件组,用于传输预定波长的光;显微观察镜,用于将来自第一光传导器件组的光传输至待测体,并观测待测体的老化程度;外部驱动和测量电路,用于对待测体施加电压,以实现电光转换,并将电光转换后的光信号通过显微镜传输至第二光传导器件组;第二光传导器件组,用于将电光转换后的光信号传输至第一探测器;第一探测器,用于对来自第二光传导器件组的光信号进行分析,以得到待测体的EL信号和PL信号。本公开实施例系统组成简单,对于器件改善指导作用较强,老化速度较快。
技术领域
本公开涉及光电领域,特别涉及一种光电材料与器件表征系统。
背景技术
发光二极管的工作原理是通过外部电压将电子空穴两种载流子从二极管两端注入,电子空穴在发光层相遇,通过辐射复合产生发光。发光二极管的发光过程机理以及电荷空穴的注入情况的监测对于改进器件结构、提升器件性能是十分重要的。
小信号(即探测光路信号)光致发光(PL)原位监测功能,能够提供发光层的发光能力随着外界条件(偏压,时间等)的变化而变化的情况。特别是对于器件操作寿命的监控,可以一定程度上给出一些有用信息。
然而,此种技术的缺陷是测量手段单一,只能得到单一的PL信号随着时间的变化曲线。但是,发光层的PL信号衰减的原因有多种,无法区别是量子点自身还是界面还是临近层导致发光衰减,对于器件改善只有微弱性的指导作用;并且,一般测量需要使用常规的器件衰减所使用的亮度,测量时间比较长。
实用新型内容
有鉴于此,本公开实施例提出了一种光电材料与器件表征系统,用以解决现有技术的如下问题:测量手段单一,只能得到单一的PL信号随着时间的变化曲线,对于器件改善只有微弱性的指导作用;并且,一般测量需要使用常规的器件衰减所使用的亮度,测量时间比较长。
一方面,本公开实施例提出了一种光电材料与器件表征系统,包括:激光发射组件,用于发射预定波长的光,所述预定波长的光作为老化光和探测光;第一光传导器件组,用于传输所述预定波长的光;显微观察镜,用于将来自所述第一光传导器件组的光传输至待测体,并观测所述待测体的老化程度;外部驱动和测量电路,用于对所述待测体施加电压,以实现电光转换,并将所述电光转换后的光信号通过所述显微镜传输至第二光传导器件组;所述第二光传导器件组,用于将所述电光转换后的光信号传输至第一探测器;所述第一探测器,用于对来自所述第二光传导器件组的光信号进行分析,以得到所述待测体的电致发光(EL)信号和PL信号。
在一些实施例中,所述激光发射组件包括:所述第一激光器,用于发射第一预定波长的第一光信号,所述第一光信号作为探测光;和,所述第二激光器,用于发射第二预定波长的第二光信号,所述第二光信号作为老化光。
在一些实施例中,还包括:斩波器,用于将具有所述第一光信号处理为交流光信号;分束器,将所述交流光信号拆分为第一交流光信号和第二交流光信号,并将所述第一交流光信号传输至所述第一光传导器件组,将所述第二交流光信号传输至第二探测器;所述第二探测器,用于接收所述第二交流光信号。
在一些实施例中,还包括:锁相放大器,用于接收所述第二探测器和所述第一探测器的光信号,并根据所述光信号得到校正后的PL信号。
在一些实施例中,还包括:光束组合器,所述光束组合器与所述第二激光器耦合,并与所述分束器耦合。
在一些实施例中,所述第一光信号经过所述斩波器和所述分束器处理后,输入至所述第一光传导组件组中;所述第二光信号直接输入至所述第一光传导组件组的传输光路中。
在一些实施例中,还包括:第三激光器,用于发射第三预定波长的第三光信号,所述第三光信号作为激活光。
在一些实施例中,还包括:相机组件,用于获取及展示图像数据,用于调整材料对位。
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