[实用新型]一种清洗设备

说明书

本申请提供了一种清洗设备，属于清洗技术领域。清洗设备包括清洗室、清洗装置、第一除液室、第一喷气系统、第一回流装置、漂洗室、漂洗装置、第二除液室、第二喷气系统和第二回流装置。清洗装置设于清洗室内。第一喷气系统包括第一除雾器、第一抽气装置和第一喷气装置，第一喷气装置位于第一除液室内，第一抽气装置用于抽取清洗室内的气体。漂洗装置设于漂洗室内。第二喷气系统包括第二除雾器、第二抽气装置和第二喷气装置，第二喷气装置位于第二除液室内。这种结构的清洗设备，利用第一除雾器和第二除雾器对第一抽气装置和第二抽气装置抽出的气体进行除雾处理，能够更彻底的去除产品上的残留液，提高了产品的清洗良率。

技术领域

本申请涉及清洗技术领域，具体而言，涉及一种清洗设备。

背景技术

目前，清洗设备对产品(如半导体模块)进行清洗时，一般需要先对产品进行清洗，再对产品进行漂洗。在清洗和漂洗后均需要对产品进行除液处理，以去除产品表面的残留液。产品在清洗后一般会抽取清洗室内的气体，来吹掉产品上的残留液，同样产品在漂洗后也会抽取漂洗室内的气体，来吹掉产品上的残留液。在抽出清洗室和漂洗室内的气体时，也会把清洗室和漂洗室内的雾气抽出，在吹掉产品上的残留液时，抽出的雾气也将作用于产品，容易出现产品上的残留液去除不干净的情况，产品的清洗良率较低。

实用新型内容

本申请实施例提供一种清洗设备，以改善现有的清洗设备的清洗良率较低的问题。

第一方面，本申请实施例提供一种清洗设备，包括：

清洗室；

清洗装置，设于清洗室内，所述清洗装置用于对清洗室内的产品进行清洗；

第一除液室；

第一喷气系统，包括第一除雾器、第一抽气装置和第一喷气装置，所述第一喷气装置位于所述第一除液室内，所述第一抽气装置用于抽取所述清洗室内的气体，并使清洗室内的气体经过第一除雾器后从所述第一喷气装置中喷出，以对经过所述清洗装置清洗并位于所述第一除液室内的产品进行除液处理；

第一回流装置，用于将位于所述第一除液室内的气体导入所述清洗室；

漂洗室；

漂洗装置，设于漂洗室内，所述漂洗装置用于对经过所述第一喷气系统除液处理后并位于所述漂洗室内的产品进行漂洗；

第二除液室；

第二喷气系统，包括第二除雾器、第二抽气装置和第二喷气装置，所述第二喷气装置位于所述第二除液室内，所述第二抽气装置用于抽取所述漂洗室内的气体，并使漂洗室内的气体经过第二除雾器后从所述第二喷气装置中喷出，以对经过所述漂洗装置清洗并位于所述第二除液室内的产品进行除液处理；

第二回流装置，用于将位于所述第二除液室内的气体导入所述漂洗室。

上述方案中，清洗装置对产品进行清洗后，可在第一除液室内进行除液处理，即通过第一抽气装置抽取清洗室内的气体，气体经过第一除雾器除雾处理后，从第一喷气装置中喷出，从而对第一除液室内的产品进行除液处理，吹掉产品上的残留液，进入第一除液室内的气体可通过第一回流装置导入至清洗室，使得气体在清洗室与第一除液室之间循环流动。同样，漂洗装置对产品进行漂洗后，可在第二除液室内进行除液处理，即通过第二抽气装置抽取漂洗室内的气体，气体经过第二除雾器除雾处理后，从第二喷气装置中喷出，从而对第二除液室内的产品进行除液处理，吹掉产品上的残留液，进入第二除液室内的气体可通过第二回流装置导入至漂洗室，使得气体在漂洗室与第二除液室之间循环流动。这种结构的清洗设备，利用第一除雾器和第二除雾器对第一抽气装置和第二抽气装置抽出的气体进行除雾处理，能够更彻底的去除产品上的残留液，提高了产品的清洗良率。此外，第一除雾器和第二除雾器单独用于对清洗室和漂洗室内的气体进行除雾处理，除雾处理后的气体又各自回流到清洗室和漂洗室内，不会出现清洗室内的气体与漂洗室内的气体相互污染的情况。